클래스 100 클린룸을 항상 깨끗하게 유지하는 방법
클래스 100 클린룸을 운영할 때, 웨이퍼를 가열하는 과정에서 생기는 조금의 먼지나 기체도 단순한 성가심에 그치지 않습니다. 이는 심각한 문제가 될 수 있습니다. 일반적인 가열 요소들은 이러한 상황을 감당할 수 없습니다. 가열될 때마다 팽창과 수축을 반복하면서 미세한 입자들이 방출되기 때문입니다. 이는 제품의 품질에 치명적인 영향을 미칩니다.
우리는 고순도의 합성 석영을 사용하여 IR 램프를 만듭니다.
석영이 왜 중요한가?
우리는 불순물이 거의 없는 융합된 규소를 사용합니다. 이를 통해 저품질의 재료에서 나타나는 성가신 먼지 문제를 해결할 수 있습니다.
이 램프들은 단파장의 IR 복사를 사용합니다. 웨이퍼 주변의 공기를 모두 가열하는 대신, 에너지가 직접 웨이퍼 표면으로 전달됩니다. 이렇게 하면 바닥의 먼지가 웨이퍼 위로 날아오르는 것을 막을 수 있습니다. 게다가 석영은 화학적으로 안정적이어서 챔버 내의 미량의 기체와 반응하지 않습니다. 따라서 웨이퍼는 원래의 상태를 그대로 유지됩니다.
설계상의 세부 사항
박막 증착이나 경화 작업을 할 때는 정밀도가 매우 중요합니다. 우리는 램프를 설계할 때 웨이퍼 전체에 균일한 열이 분배되도록 합니다. 필요에 따라 IR 광선을 최대한 통과시키기 위해 투명한 석영을 사용할 수도 있고, 파장을 조절하기 위해 특수 코팅을 적용할 수도 있습니다.
또한, 산화를 막기 위해 금 도금된 전극이나 고니켈 전극을 사용합니다. 만약 밀봉이 실패한다면 할로겐 가스가 새어나와 필라멘트가 타버릴 수 있습니다. 그래서 우리는 허용 오차를 엄격하게 관리하여, 새로운 램프를 교체할 때 복잡한 조정 과정을 거칠 필요가 없도록 합니다.
주의해야 할 몇 가지 사항
이처럼 강력한 램프들은 엄청난 양의 열을 발생시킵니다. 웨이퍼는 필요한 만큼의 열을 받지만, 램프의 외부 구조는 큰 손상을 입을 수 있습니다.
따라서 쿨링 시스템을 제대로 설계해야 합니다. 공기 흐름이 너무 약하면 열로 인해 램프의 부품들이 변형될 수 있습니다. 이를 방지하기 위해 우리는 전용 냉각수 시스템이나 고속 공기 순환 시스템을 사용합니다. 열이 가해져서는 안 되는 부품들은 반드시 차갑게 유지해야 합니다. 그게 전부입니다.