솔더 마스크 건조 과정에서는 온도를 서서히 높이는 것이 아니라, 일정한 조건을 유지해야 합니다. 1.5°C의 온도 변동만으로도 웨이퍼 전체의 두께에 차이가 생기고, 그로 인해 다음 리소그래피 공정이 중단될 수 있습니다. 결함이 없는 제품을 생산하려면, 이러한 열 처리 장비는 일정한 상태를 유지해야 하며, 추가적인 변수가 되어서는 안 됩니다.
중요한 요소들 우리는 석영-할로겐 방출기를 활용한 단파 적외선을 이용해 시스템을 구축했습니다. 이를 통해 에너지를 빠르게 전달하여 표면에만 에너지가 집중되도록 합니다. 균일성이 가장 중요한 요구사항입니다. 솔더 마스크 건조 과정에서 웨이퍼 전체의 온도 변동은 ±0.1°C 이내여야 합니다. 클로즈드-루프 제어 시스템은 정밀한 온도 측정 장치를 사용하여 온도를 제어하기 때문에, 설정된 온도가 실제로 중요한 값과 일치합니다.
클린룸의 등급은 Class 1–100이며, 가스 발생이 적은 재료와 입자 생성을 최소화하는 층류 유동 구조가 필요합니다. 반복성은 온도, 시간, 가열 속도와 같은 파라미터들을 일정하게 유지함으로써 보장됩니다. 그렇게 하면 모든 배치가 동일한 열 처리 조건을 충족하게 됩니다.
실제 운용에서의 장점 이 시스템은 코팅 직후에 솔더 마스크를 건조시키는 데 최적화되어 있습니다. 이때 습기와 용매 잔여물을 제거해야 하며, 동시에 필름에 스트레스가 가거나 재융화 현상이 일어나서는 안 됩니다. 빠른 가열 속도 덕분에 처리 시간이 단축되고, 다음 공정 단계에서 발생할 수 있는 문제도 줄어듭니다. 열 처리가 일정하게 이루어지면 치명적인 결함도 줄어들어 생산성이 향상됩니다.
에너지 사용도 줄어듭니다. 필요할 때만 열을 공급하기 때문에 히터를 계속 가동시킬 필요가 없습니다. 그 결과, 폐기물도 줄어들고, 재작업도 줄어들며, 공정 속도도 안정적으로 유지됩니다.
계획해야 할 사항 시스템은 EMI 특성에 맞는 클린룸의 전력 및 접지 시스템이 필요합니다. 또한 건조 과정도 특정 솔더 마스크의 특성에 맞게 설정되어야 합니다. 시스템 설정은 간단합니다. 방출기의 출력 밀도와 처리 속도만 조절하면 됩니다. 일단 설정되면 공정은 안정적으로 유지됩니다. 하지만 솔더 마스크를 변경할 경우에는 다시 설정을 확인해야 합니다. 이러한 규칙을 준수함으로써 일관된 결과를 얻을 수 있습니다.