फैब फ्लोर पर, फोटोरेजिस्ट को सुखाने की प्रक्रिया में महज 0.5°C का अंतर ही एक अच्छे उत्पाद को बेकार बना सकता है। वेफर वहीं रहते हैं एवं इंतजार करते हैं… समय-सारणी में विलंब हो जाता है, कणों की संख्या बढ़ जाती है। हमने ऐसी स्थितियों से बचने हेतु एक ऐसा हीटर तैयार किया है।
तकनीकी दृष्टि से क्या महत्वपूर्ण है?
इसका मुख्य घटक क्वार्ट्ज-आधारित शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड हीटर है; यह लिथोग्राफी एवं सुखाने की प्रक्रियाओं के लिए आवश्यक तापमान स्तर के अनुरूप है। वेफर पर तापमान को ±0.1°C के भीतर ही रखा जाता है… इसकी जाँच कैलिब्रेटेड थर्मोकपल्स के द्वारा की जाती है। हीटर तेजी से कार्य करता है, इसलिए हर बार एक ही तरह का परिणाम प्राप्त होता है।
यह व्यवस्था क्यों प्रभावी है?
फोटोरेजिस्ट प्रसंस्करण में, तापमान की एकरूपता ही CD नियंत्रण एवं लाइन-एज रफनेस को नियंत्रित करती है। हमारा हीटर गर्म क्षेत्र को स्थिर रखता है… इससे वेफर में असमानताएँ कम हो जाती हैं, एवं पुनः प्रसंस्करण की आवश्यकता भी कम हो जाती है। क्लीनरूम-अनुकूल डिज़ाइन एवं कणों की अनुपस्थिति से दोषों की संख्या कम रहती है… जबकि स्थिर एवं पुनरावर्ती प्रक्रियाओं से प्रति वेफर लगने वाला समय कम हो जाता है, एवं ऊर्जा की खपत भी कम हो जाती है।
आपको क्या जानना आवश्यक है?
इस हीटर की स्थापना के लिए प्रोसेस चैंबर के साथ सटीक संरेखण आवश्यक है… हीटर तभी सबसे अच्छा कार्य करता है, जब वह चैंबर की तापीय संरचना एवं हवा-प्रवाह के अनुरूप हो। हर 2,000 घंटों में हीटर का कैलिब्रेशन करना आवश्यक है… आवश्यकता पड़ने पर तुरंत ही रिजर्व हीटर उपलब्ध होना चाहिए। हम कनेक्टर प्रकार, वोल्टेज एवं आयामों के बारे में भी जानकारी देते हैं… ताकि हीटर आसानी से एकीकृत हो सके… लेकिन फील्ड में इसकी स्थापना तो संयुक्त रूप से ही की जानी चाहिए।