फैब फ्लोर पर, फोटोरेजिस्ट के बेकिंग प्रक्रम का मूल्यांकन केवल तापमान के आधार पर ही नहीं किया जाता। इसका मूल्यांकन उपकरण की स्थिरता, कणों की संख्या, एवं हजारों वेफरों पर सीडी स्थिरता के आधार पर किया जाता है। जब बेकिंग हीटर में कोई खराबी आ जाती है, तो प्रक्रिया रुक जाती है… और इस प्रक्रिया में उत्पादन एवं ऊष्मा-संबंधी संसाधन भी बर्बाद हो जाते हैं।
हमने क्या बनाया, एवं यह क्यों महत्वपूर्ण है?
हमने इस फोटोरेजिस्ट बेकिंग हीटर को शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड तत्वों एवं क्वार्ट्ज-रीइनफोर्स्ड थर्मल स्टैक के आधार पर बनाया… क्योंकि इससे ही वेफरों पर ±0.1°C की स्थिरता प्राप्त होती है। हीटर की संरचना क्लीनरूम क्लास 1–100 के मानकों के अनुरूप है… इसमें सील्ड जॉइंट्स हैं, एवं कणों का उत्पादन न्यूनतम है।
टेम्परेचर की स्थिरता, “सॉफ्ट बेक” एवं “हार्ड बेक” दोनों ही प्रक्रियाओं में बनी रहती है… इससे एक्सपोज़र विंडो स्थिर रहती है। यह हीटर 24/7 कार्य करने के लिए डिज़ाइन किया गया है… इसमें कोई अप्रत्याशित खराबी नहीं होती… एवं क्षय-प्रतिरोधी संरचना एवं नियंत्रित थर्मल ग्रेडिएंट के कारण इसकी आयु भी बढ़ जाती है।
लिथोग्राफी में यह क्यों महत्वपूर्ण है?
लिथोग्राफी में, बेकिंग तापमान ही फोटोरेजिस्ट के प्रवाह, अवशिष्ट विलायकों, एवं एटचिंग प्रक्रियाओं को नियंत्रित करता है। इस हीटर के उपयोग से हर बार समान बेकिंग प्रक्रिया होती है… रीवर्किंग कम हो जाती है… एवं सीडी नियंत्रण भी बेहतर हो जाता है।
ऊर्जा-खपत भी कम हो जाती है… हीटर तेज़ी से निर्धारित तापमान तक पहुँच जाता है… इससे प्रति वेफर पर आने वाला ऊर्जा-खर्च कम हो जाता है। कम रिप्लेसमेंट का मतलब है कम पीएम इंटररूप्शन्स… एवं कम प्रक्रिया-व्यवधान।
स्थापना एवं संचालन हेतु आवश्यक बातें:
स्थापना हेतु हीटिंग प्लेट से सटीक रूप से जुड़ना आवश्यक है… साथ ही क्लीनरूम-ग्रेड के पावर एवं कंट्रोल कनेक्शन भी आवश्यक हैं। असंगत केबलिंग से शोर पैदा हो सकता है… जिससे स्थिरता में समस्याएँ आ सकती हैं।
हीटर तब सबसे अच्छा काम करता है, जब चेम्बर में हवा का प्रवाह स्थिर रहता है… एवं वातावरणीय तापमान निर्धारित सीमा में ही रहता है। इस स्थिरता को बनाए रखने हेतु नियमित रूप से कैलिब्रेशन आवश्यक है… लेकिन हमारे उत्पादों में ऐसी आवश्यकता ही नहीं है… क्योंकि ये दसियों हजार घंटों तक स्थिर रूप से काम करते हैं… एवं कोई कण-उत्पादन भी नहीं होता।