आइए, वेफरों के सुखाने की प्रक्रिया में विद्युत सुरक्षा के बारे में बात करते हैं।
जब वेफरों को सुखाया जाता है, तो दो चीजें आवश्यक होती हैं – पर्याप्त ऊष्मा, एवं बिल्कुल भी विद्युत लीकेज न होना। इसके लिए, हम सुखाने वाले लैंपों को उच्च-परावर्तकता वाले कवरों के साथ उपयोग में लाते हैं; ताकि सभी आईआर ऊर्जा ठीक वहीं पहुँच सके।
लेकिन यहाँ समस्या यह है कि ऐसी प्रणालियाँ उच्च वोल्टेज पर ही काम करती हैं। इसका मतलब है कि लैंप एवं परावर्तक के बीच की जगह ही वह स्थान है जहाँ समस्याएँ पैदा हो सकती हैं।
हम हर उपकरण का परीक्षण क्यों करते हैं?
हम यहाँ “बैच सैंपलिंग” नहीं करते। यह तो उन लोगों के लिए है जो अपने उपकरणों के साथ जुआ खेलना पसंद करते हैं। इसके बजाय, हर लैंप एवं परावर्तक उपकरण का पूरा वोल्टेज-प्रतिरोध परीक्षण किया जाता है, तभी ही उसे हमारी दुकान से बाहर भेजा जाता है।
क्यों? क्योंकि इन्सुलेशन में छोटा सा छेद या परावर्तक पर धूल के कण भी विद्युत लीकेज का कारण बन सकते हैं। क्लीनरूम में शॉर्ट-सर्किट केवल एक परेशानी ही नहीं है… यह तो पूरे उपकरण को नष्ट कर सकता है! यह तो कोई भी नहीं चाहेगा।
इन्सुलेशन संबंधी जानकारी
हमारा मुख्य ध्यान, गर्मी उत्पन्न करने वाले तत्वों एवं ग्राउंडेड चेसिस के बीच की दूरी पर है। हम इस पर उच्च-वोल्टेज परीक्षण करते हैं, ताकि यह सुनिश्चित हो सके कि इन्सुलेशन पर्याप्त मजबूत है।
उद्देश्य तो सरल है – धारा को फिलामेंट में ही रखना, ताकि वह उपकरण के फ्रेम में न जाए। यदि कोई उपकरण मेगोहम परीक्षण में विफल हो जाता है, तो उसे तुरंत फेंक दिया जाता है… हम उसे ठीक करने की कोशिश नहीं करते।
आपको जानने आवश्यक बातें
उच्च-परावर्तकता वाले कोटिंग्स थर्मल दक्षता में मदद करते हैं, लेकिन वे जटिल भी हो सकते हैं। यदि इनका उपयोग सही तरीके से न किया जाए, तो वे उपकरण के ग्राउंडिंग सिस्टम में समस्याएँ पैदा कर सकते हैं। बेहतर ऊष्मा-घनत्व तो मिलता है, लेकिन आपको यह भी सुनिश्चित करना होगा कि उपकरण का ग्राउंडिंग सिस्टम पर्याप्त मजबूत है, ताकि स्टैटिक चार्ज की समस्या न हो। हम परावर्तक की ज्यामिति एवं इलेक्ट्रिकल इन्सुलेशन को संतुलित करने में बहुत समय लगाते हैं… ताकि कुछ भी लीक न हो।
एक और सलाह – जब आप इन उपकरणों को चैंबर में जोड़ रहे हों, तो उनके बीच की दूरी पर ध्यान दें। यदि दूरी बहुत कम हो, तो वायु-अंतराल खत्म हो जाता है… और बिना उचित अंतराल के, इन्सुलेशन में कोई कमी होने पर विद्युत लीकेज हो सकता है।
थोड़ी जगह तो रखें… ऐसा करने से ही सुरक्षा सुनिश्चित होती है।