7×24 घंटे काम करने वाली फैब्रिकेशन लाइनों पर, जब लैम्प खराब हो जाता है, तो सिर्फ लैम्प ही नहीं रुक जाता – थर्मल संतुलन भी बिगड़ जाता है, फोटोरेजिस्ट की गुणवत्ता भी प्रभावित हो जाती है, और फिर पुनः काम करना ही पड़ता है। क्वार्ट्ज ग्लास से बना यह शील्ड, लगातार काम करने के दौरान भी एक्सपोजर एवं ऊर्जा के स्तर को स्थिर रखता है।
वास्तव में क्या महत्वपूर्ण है?
हम इस शील्ड को उच्च शुद्धता वाले क्वार्ट्ज से ही बनाते हैं; ताकि लैम्प के स्पेक्ट्रम में एक्सपोजर स्थिर रहे, चाहे बार-बार थर्मल साइकलिंग हो। यह शील्ड वेफर स्तर पर थर्मल एकरूपता को ±0.1°C के भीतर ही बनाए रखता है; इससे सॉफ्ट बेक एवं हार्ड बेक का तापमान भी निर्धारित सीमाओं के भीतर ही रहता है। यह सामग्री क्लीनरूम क्लास 1–100 में भी अच्छी तरह काम करती है, एवं सामान्य स्थितियों में इससे कोई कण उत्पन्न नहीं होते।
24/7 काम करने पर भी यह शील्ड विश्वसनीय ही रहता है…
यह शील्ड 5,000 घंटों तक काम कर सकता है, एवं इसके आउटपुट में 5% से भी कम बदलाव होता है। इसकी विश्वसनीयता, स्थिर तापमान एवं एकसमान एक्सपोजर ऊर्जा के कारण ही संभव है… ऑपरेटर की इच्छाओं के आधार पर नहीं।
लिथोग्राफी प्रक्रिया में इसका क्या महत्व है?
लिथोग्राफी प्रक्रिया में हर बार एक ही तापमान, एक ही ऊर्जा एवं एक ही स्तर की स्वच्छता आवश्यक है। ऐसा स्थिर शील्ड, लैम्प एवं ऑप्टिक्स को दूषित होने से बचाता है, थर्मल संतुलन को बनाए रखता है, एवं तापमान में बदलाव के कारण होने वाली खामियों को भी रोकता है। इससे अवश्यकताहीन वस्तुओं की मात्रा कम हो जाती है, सीडी नियंत्रण बेहतर हो जाता है, एवं रखरखाव की प्रक्रियाएँ भी आसान हो जाती हैं। चूँकि सिस्टम हर बार दरवाजा खुलने पर तापमान को संतुलित नहीं करता, इसलिए ऊर्जा भी स्थिर ही रहती है।
जिन बातों को नजरअंदाज करने से समस्याएँ होती हैं…
इस शील्ड की स्थापना के लिए बहुत ही सटीकता आवश्यक है… इसे उपकरण की निर्धारित सीमाओं के भीतर ही स्थापित करना होता है… वरना गर्म बिंदु बन जाते हैं, एवं थर्मल स्ट्रेस के कारण दरारें भी पड़ सकती हैं। यह शील्ड मानक लैम्प फिक्सचरों में ही फिट होता है… लेकिन अपने लैम्प एवं चेंबर की विशेषताओं के अनुसार ही इसके माउंटिंग आयामों एवं गैसकेट सामग्री की जाँच करनी आवश्यक है। इस शील्ड को एक नियोजित जीवनकाल वाले उत्पाद के रूप में ही देखना चाहिए… खराब होने पर ही इसे बदलना चाहिए… ताकि कणों की संख्या एवं थर्मल बदलाव नियंत्रण में ही रहें।