क्लास 100 क्लीनरूम को वास्तव में साफ रखना बहुत ही महत्वपूर्ण है। जब आप क्लास 100 क्लीनरूम चला रहे होते हैं, तो वेफर को गर्म करते समय उत्पन्न होने वाली थोड़ी सी धूल या गैस भी बड़ी समस्या बन सकती है। आम तौर पर इस्तेमाल किए जाने वाले हीटिंग तत्व ऐसी स्थितियों को संभाल नहीं पाते। वे गर्म होने पर सिकुड़ते एवं फैलते हैं, और इस प्रक्रिया में सूक्ष्म कण उत्पन्न हो जाते हैं। यह आपके काम के लिए बहुत ही बड़ी समस्या है।
हम ऐसी समस्याओं से निपटने हेतु अपनी आईआर लैंपों में उच्च शुद्धता वाला सिंथेटिक क्वार्ट्ज ही इस्तेमाल करते हैं।
क्वार्ट्ज का महत्व
हम ऐसा क्वार्ट्ज ही इस्तेमाल करते हैं, जिसमें लगभग कोई अशुद्धि ही न हो। ऐसा करने से वह “धूल उत्पन्न होने” की समस्या दूर हो जाती है।
ये लैंप छोटी तरंगदैर्घ्य वाले आईआर विकिरण का उपयोग करते हैं। इससे वेफर के चारों ओर की हवा गर्म नहीं होती, बल्कि ऊर्जा सीधे वेफर की सतह तक पहुँच जाती है। यह बहुत ही अच्छा है, क्योंकि इससे फर्श पर मौजूद धूल ऊपर नहीं आती। इसके अलावा, क्वार्ट्ज रासायनिक रूप से निष्क्रिय होता है; इसलिए यह आपकी चेंबर में मौजूद गैसों के साथ कोई अभिक्रिया नहीं करता। इससे वेफर वैसा ही रहता है, जैसा कि होना चाहिए।
डिज़ाइन संबंधी विवरण
यदि आप थिन-फिल्म डिपोजिशन या क्यूरिंग का काम कर रहे हैं, तो आपको परिशुद्धता का बहुत ही ध्यान रखना होगा। हम ऐसी लैंपों को ऐसे ही डिज़ाइन करते हैं, ताकि पूरे वेफर पर गर्मी समान रूप से वितरित हो सके। आपकी आवश्यकताओं के अनुसार, आप स्पष्ट क्वार्ट्ज का उपयोग कर सकते हैं, ताकि जितना हो सके उतना आईआर विकिरण वेफर तक पहुँच सके; या आप वेवलेंथ को समायोजित करने हेतु विशेष कोटिंग भी लगा सकते हैं।
हम सीलिंग को ऑक्सीकरण से बचाने हेतु सोने से ढके या उच्च निकल वाले इलेक्ट्रोड भी इस्तेमाल करते हैं। यदि सीलिंग टूट जाती है, तो हैलोजन गैस बाहर निकल जाती है, और लैंप का फिलामेंट तुरंत ही जल जाता है। हम ऐसी स्थितियों से बचने हेतु बहुत ही सटीक मापदंडों का ही उपयोग करते हैं, ताकि आपको नया लैंप लगाने में कोई परेशानी न हो।
कुछ बातें ध्यान में रखें
ये उच्च-तीव्रता वाले लैंप बहुत ही अधिक गर्मी उत्पन्न करते हैं। जबकि वेफर को वही गर्मी मिलती है जो उसे चाहिए, लेकिन लैंप का आवरण बहुत ही गर्म हो जाता है।
आपको अपने कूलिंग सिस्टम को ठीक से व्यवस्थित करना होगा। यदि हवा का प्रवाह कम हो, तो गर्मी के कारण लैंप का आवरण विकृत हो सकता है। ऐसी स्थितियों से बचने हेतु, हम आमतौर पर विशेष कूलिंग सिस्टम का ही उपयोग करते हैं। जो हिस्से गर्म नहीं होने चाहिए, उन्हें ठंडा ही रखना होगा। बस इतना ही।