फैब्रिकेशन लाइन पर, फोटोरेजिस्ट को सही तापमान पर गर्म करना कोई वैकल्पिक कदम नहीं है – यह तो अनिवार्य प्रक्रिया है। यदि गर्मी देने की प्रक्रिया में थोड़ी भी गलती हो जाए, तो वेफर के आकार/आकृति में बदलाव हो जाता है। यदि गर्मी देने की प्रक्रिया में एकरूपता न रहे, तो उत्पादन प्रभावित हो जाता है। हमने ऐसे सिरेमिक इन्फ्रारेड हीटर पैनल बनाए हैं, जिससे ऐसी त्रुटियों को नियंत्रित किया जा सके; इससे 24/7 काम करने वाली लिथोग्राफी मशीनों को आवश्यक ऊष्मा नियंत्रण मिलता है।
तकनीकी दृष्टि से महत्वपूर्ण बातें:
ये पैनल, तेज़ एवं सटीक तरीके से ऊष्मा प्रदान करने हेतु सिरेमिक इन्फ्रारेड एमिटरों पर आधारित हैं। वेफर की सतह पर तापमान की एकरूपता ±0.1°C के भीतर ही रहती है, एवं हर चक्र में भी यह एकरूपता बनी रहती है। इन पैनलों से कोई कण उत्पन्न नहीं होते, इसलिए क्लीनरूम में कणों की संख्या Class 1–100 के भीतर ही रहती है। ऊर्जा आपूर्ति स्थिर रहती है, एवं तापमान नियंत्रण भी अच्छा रहता है; इससे फोटोरेजिस्ट का प्रोफ़ाइल हर बार एक ही रहता है।
उत्पादन में इन पैनलों का महत्व:
उत्पादन में ऐसी ऊष्मा आवश्यक है, जो जल्दी ही पहुँचे, वहीं रहे, एवं प्रक्रिया में कोई बाधा न डाले। हमारे पैनल, सटीक तापमान प्रदान करते हैं; तापमान में अतिरिक्त वृद्धि नहीं होती, एवं ऊष्मा देने में लगने वाला समय भी कम हो जाता है। इससे पुनर्कार्य की आवश्यकता कम हो जाती है, एवं उत्पादन दक्षता भी बढ़ जाती है। ऊर्जा खपत भी कम हो जाती है – क्योंकि एमिटरों की दक्षता के कारण ऊष्मा सीधे आवश्यक स्थान पर ही पहुँचती है, एवं चेम्बर की दीवारों पर बर्बाद नहीं होती।
स्थापना:
स्थापना हेतु, हीटर का आकार एवं माउंटिंग इंटरफ़ेस, उपकरणों के अनुरूप होना आवश्यक है। विद्युत संबंधी व्यवस्थाएँ भी मौजूदा बसबार एवं कनेक्टरों के अनुरूप होनी चाहिए। ये पैनल, साफ़ एवं सूखी हवा में, एवं स्थिर वोल्टेज पर ही बेहतर ढंग से काम करते हैं। यदि वोल्टेज में गिरावट आ जाए, तो प्रदर्शन प्रभावित हो जाता है। इसलिए, थर्मल बजट एवं अन्य व्यवस्थाओं की योजना पहले ही बना लेनी आवश्यक है, ताकि पैनल चेम्बर की ज्यामिति के अनुरूप ही काम कर सकें।