دیگر اجازه ندهید گرمای اضافی هدر برود؛ چرا که رفلکتورهای طلا واقعاً اهمیت دارند.
در فرآیند پردازش ویفرها، هر وات انرژی که هدر میرود، در واقع همانند پولی است که به باد داده شده است. علاوه بر این، این گرمای اضافی میتواند به دیوارههای محفظه آسیب برساند و خطراتی ایجاد کند که واقعاً نمیخواهیم داشته باشیم.
اکثر گرمکنهای استاندارد، انرژی را در جاهای نامناسبی تخلیه میکنند؛ یعنی انرژی در جایی که واقعاً لازم نیست، هدر میرود. ما روش بهتری پیدا کردیم: استفاده از رفلکتورهای طلا. به جای اینکه گرما در همه جا پخش شود، آن را دوباره به سمت ویفر بازمیگردانیم.
چرا طلا؟
دلیلش، ظاهر زیبا نیست؛ بلکه مربوط به قوانین فیزیک است. طلا در بازتاب نور مادون قرمز عملکرد فوقالعادهای دارد؛ بسیار بهتر از آلومینیوم یا فولاد ضدزنگ. وقتی لایهای از طلا با خلوص بالا روی رفلکتور قرار میگیرد، فوتونهایی که معمولاً از بین میروند، دوباره به سمت سطح هدف فرستاده میشوند.
نتیجه چیست؟ گرمای تولید شده کنترل شده و زمان لازم برای رسیدن به دمای مورد نظر نیز کاهش مییابد.
مدیریت گرما و انرژی
اگر میخواهید ویفر سیلیکونی به دمای دقیق و یکنواختی برسد، باید از چگالی انرژی مناسبی استفاده کنید. ما فاصله بین منبع گرما و سطح ویفر را تا حد ممکن کوتاه نگه میداریم؛ به این ترتیب، میتوانیم میزان انرژی مصرفی را کاهش دهیم، اما همچنان به دمای مورد نظر برسیم.
اما مشکل اینجاست که باید مراقب سیستم خنککننده نیز باشیم. وقتی انرژی زیادی در یک نقطه متمرکز میشود، رفلکتور آسیب میبیند. اگر سیستم خنککننده نتواند این بار را تحمل کند، سنسورها دچار اختلال میشوند و دقت کار کاهش مییابد.
حفظ عملکرد صحیح
ما میدانیم که توقف فرآیند، دشمن اصلی است؛ بنابراین این رفلکتورها را طوری طراحی کردهایم که بتوان آنها را به راحتی تعویض کرد. اما راز واقعی برای حفظ کارایی آنها، تمیزی سطح آنها است. طلا عالی است، اما گرد و غبار و اکسیداسیون میتوانند آسیب زیادی به آن وارد کنند. اگر سطح آلوده شود، نقاط گرم روی ویفر ایجاد خواهد شد.
حتماً از روشهای تمیزکاری مناسب استفاده کنید؛ از مواد شوینده غیرخراشنده استفاده کنید تا لایه طلا آسیب نبیند. اگر لایه طلا نازک شود، کارایی رفلکتور کاهش خواهد یافت؛ در این صورت مجبور خواهید بود میزان انرژی مصرفی را افزایش دهید، که در نهایت باعث میشود لامپها سریعتر از حد معمول از بین بروند.