در کارخانههای تولید، ارزیابی کیفیت فرآیند پختن فوتورزیست، صرفاً بر اساس درجه حرارت انجام نمیشود. بلکه این ارزیابی بر اساس میزان زمان کارکرد دستگاه، تعداد ذرات تولید شده، و یکنواختی کیفیت ویفرها در هزاران ویفر انجام میشود. وقتی که دمای دستگاه تغییر کند، فرآیند تولید متوقف میشود؛ در نتیجه، محصولات تولید شده از بین میروند و همچنین هزینههای تولید نیز افزایش مییابد.
آنچه ما ساختیم و چرا این موضوع مهم است
ما این دستگاه را با استفاده از عناصر مادون قرمز کوتاهامواج و ساختارهای حرارتی مقاوم در برابر خوردگی، ساختیم؛ زیرا این روش منجر به یکنواختی دما در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد میشود. بدنه دستگاه نیز برای استفاده در اتاقهای پاک با کلاس ۱ تا ۱۰۰ طراحی شده است؛ یعنی اتصالات آن در برابر نفوذ گازها مقاوم هستند و تولید ذرات نیز صفر میماند.
تکرارپذیری دما در فرآیندهای پختن مختلف نیز بالا است؛ بنابراین پارامترهای مربوط به نوردهی در هر شیفت تولید، ثابت باقی میمانند. این دستگاه برای کار ۲۴ ساعته بدون هیچ خرابی ناخواستهای طراحی شده است؛ همچنین، استفاده از ساختارهای مقاوم در برابر خوردگی و گرادیان حرارتی کنترلشده، عمر دستگاه را افزایش میدهد.
چرا این موضوع در فرآیند لیتوگرافی مهم است
در فرآیند لیتوگرافی، دمای پختن فوتورزیست، جریان فوتورزیست، مقدار حلال باقیمانده، و انتخابپذیری فرآیند حفاری را تعیین میکند. با استفاده از این دستگاه، میتوان پروفایلهای پختن یکنواختی را در هر بار تولید اعمال کرد؛ در نتیجه، نیاز به بازسازی کاهش مییابد و کنترل کیفیت ویفرها نیز بهتر میشود.
همچنین، مصرف انرژی نیز کاهش مییابد؛ زیرا دستگاه به سرعت به دمای مورد نظر میرسد و آن را حفظ میکند. در نتیجه، هزینه تولید هر ویفر کاهش مییابد. همچنین، کمتر بودن نیاز به تعویض قطعات، به معنای کمتر بودن مزاحمتهای ناشی از تعمیرات و کمتر بودن اختلالات در فرآیند تولید است.
چه چیزهایی برای نصب و عملکرد صحیح دستگاه ضروری است
نصب دستگاه نیازمند هماهنگی دقیق با اتصالات مربوط به صفحه گرم و همچنین اتصالات الکتریکی مقاوم در برابر نفوذ گازها است. اتصالات نادرست میتواند باعث ایجاد نویز شود که منجر به مشکلات مربوط به یکنواختی دما میشود.
دستگاه در شرایطی که جریان هوا در محفظه ثابت باشد و دمای محیط در محدوده مشخص شده باشد، بهترین عملکرد را دارد. لازم است که دستگاه به طور دورهای کالیبره شود تا دما در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد باقی بماند؛ اما فاصله زمانی بین کالیبراسیونها باید طولانی باشد. دستگاههای ما، دهها هزار ساعت کار کردهاند و همواره عملکرد یکنواختی داشتهاند.