Proč používáme zlatem potažené infračervené lampy pro vysychání zelených polovodičů Svět polovodičů usiluje o použití metod vysychání bez olova a bez...

Proč jsou zlatě povrchově upravené infračervené lampy s dvojitými trubicemi opravdu důležité pro zasychání polovodičů Svět polovodičů usiluje o...

Jak udržet čistou místnost třídy 100 opravdu čistou Pokud provozujete místnost třídy 100, určitě víte, že filtry vzduchu jsou jen polovinou řešení....

Zastavte střepiny: Chraňte svou čistou místnost před selháním topení Pokud provádíte výrobu vysokého množství čipů, znáte ten noční můru. Když...

Udržování bezpečnosti při použití tepla v chemických čistících místnostech Buďme upřímní: umístění infračervených lamp přímo nad pracovní plochu v...

Přestaňte čekat na své ohřívače: Proč zvolit infračervené lampy z uhlíkových vláken Stále vidím příliš mnoho výrobních linek, které spoléhají na...

Jak využít plně možnosti oplachovacího a sušicího zařízení Při provozu oplachovací stanice je cíl docela jednoduchý: dostat wafer co nejrychleji...

Zahřívání vaší gloveboxu bez rizika výbuchu Buďme upřímní: umístění infračerveného ohřívače do gloveboxu plného hořlavých čisticích prostředků je...

Jak udržet čistou místnost třídy 100 opravdu čistou Pokud provozujete místnost třídy 100 (ISO 5), víte, jaké to je. Jediná kapka prachu nebo drobný...

Zastavte úlomky: Jak se vypořádat s prasknutím lamp v infračervených ohřívačích Pokud provozujete výrobu čipů ve vysokém objemu, znáte ten noční...

Jak zabránit výbuchu vašich vakuumových IR lamp Problém při používání infračervených topení ve vakuu spočívá v tom, že se mění fyzikální podmínky. V...

Výroba uhlíkových nanotrubic je trochu jako hra na rovnováhu. Potřebujete přesnou teplotu, ale obvykle se to dělá přímo v chemických čisticích...

Správné řízení tepla ve chytré továrně Pokud budujete chytrou továrnu pro průmysl 4.0, pravděpodobně už jste si uvědomili, že starý způsob ovládání...

Přestaňte plýtvat teplem: Proč jsou zlaté reflektory opravdu důležité Při zpracování polovodičových destiček je každý promrhaný watt v podstatě jen...

Snižování uhlíkové stopy v továrnách na polovodiče: Proč skutečně funguje sušení pomocí infračerveného záření Buďme upřímní ohledně továren na...

Zastavení vzniku úlomků: Udržování čistoty vašich MEMS destiček V továrnách na výrobu MEMS zařízení představuje selhání infračervené lampy nejen...

Udržení správného umístění dieléktoru: Integrita dielektrika v termočláncích topidel Při použití polovodičových topidel nestačí „dostatečná...

Zabraňte tomu, aby jedna rozbitá žárovka zničila celou várku vašich destiček Při výrobě biosenzorů je klíčová přesnost. Ale teď tu je noční můra:...

Jak udržet svou továrnu na výrobu čipů v dokonalé čistotě V prostředí třídy 100 není jediný drobek prachu jen otravou – je to katastrofa. Pokud vaše...

Udržení čisté místnosti třídy 100 opravdu čistou Když provozujete čistou místnost třídy 100, jediný drobný zrnko prachu nebo zvláštní oblak plynu...

Přestaňte zahřívat svůj stroj (a začněte zahřívat wafer) Při nastavování stanice na zahřívání waferech chcete, aby energie dopadala přímo na křemík....

Přestaňte se obávat poruch infračervených lamp ve vašem procesu zpracování polovodičů V provozech s vysokou kapacitou není porucha infračervené lampy...

Proč se konečně přechází na zahřívání pomocí ultra-vysokочistotních infračervených lamp Buďme upřímní: starý způsob sušení a zahřívání polovodičů je...

Přestaňte zahřívat vzduch: Lepší způsob, jak zvládat tepelné zatížení Buďme upřímní: tradiční tepelné pece jsou v podstatě obrovské spotřebiče...

Přestaňte plýtvat teplem: Proč jsou přesné hliníkové reflektory opravdu důležité Pokud provozujete továrnu na výrobu polovodičů, znáte ty potíže....

Povídáme si o elektrické bezpečnosti při zpracování waferů Při zpracování waferů potřebujete dvě věci: dokonalé rozprostření tepla a naprostou...

Zachování bezpečnosti při zahřívání těkavých chemikálií Pokud provozujete továrnu na polovodiče, víte, jak to chodí. Fáze čištění představují...

Udržení čisté místnosti třídy 100 opravdu čistou Při balení chytrých senzorů nestačí „téměř čistota“. Potřebujeme naprostou absenci kontaminace....

Proč opouštíme velké pece ve prospěch zahřívání pomocí infračerveného záření Svět polovodičů se konečně vzdává těch starých konvekčních pecí. Je to...

Úvod Pojďme si povídat o topiči pro čisté prostředí. Ve světě hluboké úpravy polovodičů se nejedná jen o prostou krabici, která se zahřívá. Jedná se...

Směrové infračervené zahřívání: Jak udržujeme nástroje na výrobu polovodičů v teple tam, kde je to potřeba – aniž bychom poškodili operátory Problém...

Udržujte svou čistou místnost čistou. Jednoduše. Taková je realita práce v oblasti polovodičů: v čisté místnosti třídy 100 může jediný zrnko prachu...

Úvod Všechno je jednoduché. Tyto vysokoteplotní topná světla jsme vyvinuli z jednoho prostého důvodu – abychom dokázali čelit extrémnímu teplu a...

V prostředí určeném k litografii je skenování pomocí AFM zcela bezúčelné, pokud teplota vzorku kolísá byť jen o půl stupně. Chování fotorezistoru –...

V továrních prostorách není vypalování fotorezistorů „dobrou volbou“ – je to zásadní krok v procesu výroby. I nepatrný odchylka při vypalování může...

V prostředí litografie se rychle naučíte, že i půl stupně odchylky během procesu zahřívání může ovlivnit kvalitu vašich CD. Pokud bude proces...

V prostředí lithografie se rychle naučíte, že odchylka teploty o 0,5 °C během zahřívání fotorezistoru může narušit pravidelnost procesu, a vzestup...

V provozu výroby stačí odchylka teploty při zahřívání fotorezistu o 0,5 °C k tomu, aby se z dobré várky stal odpad. Waferové desky čekají. Termíny se...

Při sušení záplatovací vrstvy v procesu není řeč o nějakém jemném zahřívání. Jde o specifické podmínky, které je nutné dodržet. I malá odchylka 1,5...

V výrobních prostorách může nárůst teploty o pár stupňů způsobit problémy s kontrolou rozměrů čipů – fotoresistent se může zvednout a dobré čipy se...

V provozu 7×24 hodin denně lampa prostě nezastaví svou činnost jen proto, že selže – dochází k narušení tepelné kontinuity, profile fotorezistentů se...

V tovární hale se neodhaduje kvalita vypalování fotorezisty pouze na základě teploty. Hodnotí se na základě doby provozu, počtu částic, které se...

Když uvidíte, jak se z waferu odstraňuje voda po posledním oplachování, víte, že čas běží. Pokud teplo dorazí pozdě nebo vůbec ne, rychle se objeví...

Na výrobní hale je každý watt, který sušicí trať spotřebuje, pečlivě sledován. Náklady na energii nesmí stoupnout natolik, aby byla ohrožena...

Na výrobní lince není tepelný rozpočet návrhem – je to smlouva. Půl stupně kolísání po waferu stačí k posunu kritických rozměrů, narušení profilů...

Na výrobní hale termální výkyv při soft bake nebo hard bake nejen že mírně ovlivní výtěžnost — v některých případech ji úplně znehodnotí. Když...

Na výrobním patře znáte sázky. Odchylka 1 °C během měkkého pečení fotorezistu může znehodnotit 300mm wafer, než se vůbec dostanete k expozici....

Když ve vašem nástroji Mattson RTP selže lampa, nejde jen o prostoj. Přicházíte o tepelný rozpočet, profil vypalování na fotoresistu se posouvá a...

Na výrobní hale není selhání lampy prostou prostojovou událostí – znamená šrot. Když ASML lithografická lampa začne podávat nižší výkon, měknutí...