Udržení čisté místnosti třídy 100 opravdu čistou
Když provozujete čistou místnost třídy 100, jediný drobný zrnko prachu nebo zvláštní oblak plynu během zahřívání waferu není jen nepříjemností – je to katastrofa. Většina běžných topných prvků s tím prostě neumí poradit. Při zahřívání se rozpínají a smršťují, a tento neustálý pohyb vede k uvolňování mikročástic. To je noční můra pro vaši efektivitu práce.
My to řešíme použitím vysoce čistého syntetického křemene pro naše IR lampy.
Proč je křemen důležitý
Používáme spálený křemík, který obsahuje téměř žádné nečistoty. To zabrání tomu otravnému „zaprášení“, které se vyskytuje u levných materiálů.
Tyto lampy využívají krátkovlnné IR záření. Místo toho, aby se zahříval vzduch kolem waferu, energie jde přímo na jeho povrch. To je velký plus – snižuje se totiž konvekční proudění, které obvykle zvedá prach z podlahy a posílá ho přímo na váš pracovní prostor. Navíc je křemen chemicky inertní – prostě tam jen sedí. Nebude reagovat s trace plyny ve vaší komoře, takže váš wafer zůstane přesně takový, jak má být.
Podrobnosti o konstrukci
Pokud provádíte nanášení tenkovrstvých materiálů nebo jejich vytvrzování, víte, že preciznost je všechno. Tyto lampy jsou navrženy tak, aby teplo bylo co nejrovnoměrněji rozloženo po celém povrchu waferu. Podle toho, co potřebujete, můžete použít průhledný křemen, aby prošlo co nejvíce IR záření, nebo můžeme přidat speciální povlaky na úpravu vlnové délky.
Používáme také elektrody pokryté zlatem nebo s vysokým obsahem niklu, abychom zabránili oxidaci na spojích. Pokud tento spoj selže, halogenový plyn unikne a vlákno lampy se okamžitě spálí. Udržujeme tedy úzké tolerance, abyste mohli jednoduše vyměnit lampu, aniž byste museli trávit celé odpoledne kalibrováním celého zařízení.
Několik věcí, na které je potřeba dávat pozor
Tyto vysoce intenzivní lampy vydávají obrovské množství tepla. Zatímco váš wafer dostává přesně to, co potřebuje, samotný obal lampy bude pod velkým nátlakem.
Musíte správně nastavit systém chlazení. Pokud je průtok vzduchu příliš slabý, teplo může deformovat montážní držáky. Aby se to zabránilo, doporučujeme použít speciální chladicí systém s chlazenou vodou nebo vysokorychlostní ventilovaný vzduch. Udržujte ty části, které nemají být horké, v chladu. Je to prosté.