V továrních prostorách není vypalování fotorezistorů „dobrou volbou“ – je to zásadní krok v procesu výroby. I nepatrný odchylka při vypalování může způsobit, že kritické rozměry čipů se začnou měnit. Pokud chybí jednotnost při tvrdém vypalování, výstupnost produkce klesne. Naše keramické infračervené ohřívací panely jsou navrženy tak, aby omezily tyto odchylky, a proto lithografické zařízení může pracovat 24/7 s požadovanou úrovní kontroly teploty.
Co je z hlediska techniky důležité:
Tyto panely využívají keramické infračervené emitory, které umožňují rychlé a lokalizované ohřevání s okamžitou reakcí. Jednotnost teploty na povrchu čipu zůstává v rozmezí ±0,1 °C, a opakovatelnost výsledků je konstantní z cyklu na cyklus. Konstrukce panelů nevytváří žádné částice, takže počet částic v čisté místnosti zůstává v rozmezí třídy 1–100. Dodávka energie je stabilní, s pevnou kontrolou nad teplotním režimem, takže profily fotorezistorů zůstávají konzistentní mezi jednotlivými sériemi výroby.
Důvodem, proč to funguje v praxi, je to, že potřebujeme teplo, které přichází rychle, zůstává na místě a neovlivňuje proces výroby. Naše panely dosahují přesných parametrů ohřevu, snižují nadměrné zvyšování teploty a zkracují dobu ohřevu, aniž by došlo ke ztrátě kontroly. Výsledkem je méně oprav, lepší kontrola rozměrů čipů a možnost plánování výroby. Spotřeba energie také klesá – efektivita emitorů umožňuje přenos tepla tam, kam je potřeba, bez plýtvání energií na stěny komory.
Instalace spočívá v odpovídajícím umístění a připojení panelů. Je potřeba, aby rozměry a místo montáže panelů odpovídaly vašemu vybavení, a také aby elektrické konektory odpovídaly stávajícímu systému. Panely fungují nejlépe v čistém, suchém vzduchu a při stabilní napětí. Pokud napětí klesne mimo toleranční mez, výkon panelů se také zhorší. Je potřeba předem naplánovat teplotní režim a vzdálenosti mezi jednotlivými prvky, aby panely fungovaly v souladu s geometrií komory.