ক্লাস ১০০ ক্লিনরুমকে সত্যিই পরিষ্কার রাখা খুবই গুরুত্বপূর্ণ। যখন আপনি ক্লাস ১০০ ক্লিনরুম চালান, তখন ওয়েফার উত্তপ্ত করার সময় একটি ছোট্ট ধূলিকণা বা গ্যাসের ঝাঁক থাকলে তা শুধুমাত্র বিরক্তিকর নয়—বরং এটা একটি বিপর্যয়। সাধারণ হিটিং এলিমেন্টগুলো এটা সামলাতে পারে না। উত্তপ্ত হওয়ার সাথে সাথে এগুলো প্রসারিত ও সংকুচিত হয়; ফলে মাইক্রো-কণাগুলো বেরিয়ে আসে। এটা আপনার কাজের জন্য বিপজ্জনক।
আমরা এই সমস্যা সমাধান করার জন্য উচ্চ-পরিশুদ্ধতার সিন্থেটিক কোয়ার্টজ ব্যবহার করি।
কোয়ার্টজের গুরুত্ব
আমরা এমন ফিউজড সিলিকা ব্যবহার করি, যেখানে প্রায় কোনো অশুদ্ধি নেই। এতে সস্তা উপাদানগুলোর কারণে সৃষ্ট ধূলিকণার সমস্যা দূর হয়।
এই ল্যাম্পগুলো শর্ট-ওয়েভ আইআর বিকিরণ ব্যবহার করে। ওয়েফারের চারপাশের বাতাসকে উত্তপ্ত করার পরিবর্তে শক্তিটি সরাসরি ওয়েফারের পৃষ্ঠে পৌঁছায়। এতে ফ্লোরের ধূলিকণাগুলো উড়ে আসার সমস্যা কমে যায়। আর কোয়ার্টজ রাসায়নিকভাবে নিরপেক্ষ; এটা কোনো প্রতিক্রিয়া দেখায় না। ফলে ওয়েফারটি ঠিক যেমন থাকা উচিত, ঠিক তেমনই থাকে।
ডিজাইন সম্পর্কিত বিষয়সমূহ
যদি আপনি থিন-ফিল্ম ডিপোজিশন বা কিউরিং করছেন, তাহলে নির্ভুলতাই সবচেয়ে গুরুত্বপূর্ণ। আমরা এই ল্যাম্পগুলো এমনভাবে তৈরি করি যাতে ওয়েফারের সর্বত্র সমানভাবে তাপ পৌঁছায়। আপনার প্রয়োজন অনুযায়ী, আপনি স্বচ্ছ কোয়ার্টজ ব্যবহার করতে পারেন; অথবা তরঙ্গদৈর্ঘ্য নিয়ন্ত্রণ করার জন্য বিশেষ কোটিং ব্যবহার করতে পারেন।
আমরা অক্সিডেশন রোধ করার জন্য গোল্ড-প্লেটেড বা উচ্চ-নিকেল ইলেকট্রোডও ব্যবহার করি। যদি এই সিলটি ভেঙে যায়, তাহলে হ্যালোজেন গ্যাস বেরিয়ে যাবে এবং ল্যাম্পটি নষ্ট হয়ে যাবে। আমরা এই সিলগুলোকে খুব সতর্কতার সাথে তৈরি করি; যাতে আপনাকে আবার ল্যাম্পটি সেট করতে না হয়।
মনোযোগ দেওয়া উচিত কিছু বিষয়
এই উচ্চ-তীব্রতার ল্যাম্পগুলো প্রচুর তাপ উৎপন্ন করে। ওয়েফারটি যদিও প্রয়োজনীয় তাপ পায়, কিন্তু ল্যাম্পটি ক্ষতিগ্রস্ত হয়।
আপনাকে ঠিকমতো কুলিং সিস্টেম ব্যবহার করতে হবে। যদি বায়ুপ্রবাহ দুর্বল হয়, তাহলে তাপের কারণে ল্যাম্পটি ক্ষতিগ্রস্ত হবে। এটা এড়াতে আমরা সাধারণত কুলড-ওয়াটার জ্যাকেট বা উচ্চ-গতির বায়ু ব্যবহার করার পরামর্শ দিই। যেসব অংশগুলো গরম হওয়া উচিত নয়, সেগুলোকে ঠান্ডা রাখুন। এটাই সবচেয়ে সহজ উপায়।