চূড়ান্ত ধোয়ার প্রক্রিয়ার সময় ওয়েফারটি কীভাবে আলাদা হয়, তা দেখলেই বোঝা যায় যে সময় কত দ্রুত কেটে যাচ্ছে। যদি তাপ ঠিক সময়ে না পৌঁছায়, অথবা সমানভাবে না বণ্টিত হয়, তাহলে জলের দাগ, ফটোরেসিস্টের ক্ষতি এবং উৎপাদন ক্ষমতার হ্রাস দেখা দেবে। এই সমস্যাগুলো শুরু হওয়ার আগেই আমরা ওয়েফার শুকানোর জন্য ইনফ্রারেড হিটার ব্যবহার করি।
কী গুরুত্বপূর্ণ?
আমরা কম্প্যাক্ট কোয়ার্টজ অ্যাসেম্বলিতে শর্ট-ওয়েভ ইনফ্রারেড এমিটার ব্যবহার করি। এটা সরাসরি শক্তি স্থানান্তরের পদ্ধতি; ফলে দ্রুত প্রতিক্রিয়া ও নিয়ন্ত্রণ সম্ভব হয়। উৎপাদন প্রক্রিয়ায়, ড্রায়িং জোনে ওয়েফারের তাপমাত্রা ±0.1°C এর মধ্যে রাখা হয়।
নিয়ন্ত্রণটি ক্যালিব্রেটেড সেন্সরের মাধ্যমে করা হয়; চেম্বারের দেয়ালের মাধ্যমে নয়। এভাবেই প্রতিবার একই ধরনের ফলাফল পাওয়া যায়। হিটারটি ক্লিনরুম-সংগত; এর ক্লাস ১–১০০। এর পৃষ্ঠগুলো এমনভাবে ডিজাইন করা হয়েছে যাতে কণা উৎপন্ন না হয় এবং গ্যাস নির্গমন কম হয়। ৫,০০০+ ঘন্টা ধরে হিটারটি স্থিতিশীল অবস্থায় থাকে; স্থিতিশীল অবস্থায় তাপের তীব্রতার পরিবর্তন ৫% এর কম হয়।
লিথোগ্রাফি ও ফটোরেসিস্ট প্রক্রিয়ায় এটি কেন কার্যকর?
লিথোগ্রাফি ও ফটোরেসিস্ট প্রক্রিয়ায় তাপ নিয়ন্ত্রণ খুবই গুরুত্বপূর্ণ। “সফ্ট বেক” ও “হার্ড বেক” প্রক্রিয়াগুলোকে নির্দিষ্ট সীমার মধ্যে রাখতে হয়; যাতে CD, প্রোফাইল ও ত্রুটির ঘনত্ব নির্দিষ্ট মাত্রায় থাকে। আমাদের ইনফ্রারেড হিটারটি ওয়েফারগুলোকে দ্রুত শুকায়; ফলে ফটোরেসিস্টের অখণ্ডতা বজায় থাকে এবং লাইন-ওয়েডথ নিয়ন্ত্রণও স্থিতিশীল থাকে।
গতি থাকে, কিন্তু সমানতা কমে যায় না; আর শক্তি ব্যবহারও কম হয়, কারণ তাপটি ঠিক সেখানেই যায় যেখানে প্রয়োজন। ফলে ত্রুটির সংখ্যা কম থাকে, প্রক্রিয়াটি ভবিষ্যদ্বাণীয় হয় এবং পুনরাবৃত্তির প্রয়োজন কম হয়।
কিছু কারখানা-সংক্রান্ত বিষয়:
ইনস্টলেশনের সময় মাউন্টিং টলারেন্স ও এয়ারফ্লো রুটিং যাচাই করা প্রয়োজন। ±0.1°C এর মধ্যে তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ করতে হলে স্থিতিশীল ল্যামিনার ফ্লো ও ক্রস-ড্রাফ্ট এড়ানো প্রয়োজন। হিটারটি স্ট্যান্ডার্ড সেমিকন্ডাক্টর টুলগুলোর সাথে সংযুক্ত হয়; কিন্তু ইন্টিগ্রেশনের সময় ক্লিয়ারেন্স, তাপীয় লোড ও সেন্সরের অবস্থান যাচাই করা প্রয়োজন।
হিটারটি দীর্ঘসময় ধরে কাজ করতে পারে; কিন্তু তাপমাত্রা সেন্সরটিকে নিয়মিতভাবে ক্যালিব্রেট করতে হয়। এভাবেই নির্দিষ্ট সমানতা দীর্ঘসময় ধরে বজায় থাকে।