ফ্যাব ফ্লোরে, আপনি জানেন ঝুঁকি কতটা। একটি ১°C পরিবর্তন ফটোরেজিস্ট সফট বেকের সময় ৩০০ মিমি ওয়েফারকে স্ক্র্যাপ করতে পারে, আপনি এক্সপোজারে পৌঁছানোর আগেই। প্রচলিত হট প্লেটগুলি এজ রোল-অফের বিরুদ্ধে লড়াই করে, এবং তাপীয় ল্যাগ লট থেকে লটে পুনরাবৃত্তি সমস্যা তৈরি করে। আপনার এমন একটি তাপ পদ্ধতির প্রয়োজন যা স্পিন কোেটিংয়ের সাথে তাল মিলিয়ে চলে এবং লিথোগ্রাফির লক্ষ্য ঠিক করে।
যা ভিতরে গুরুত্বপূর্ণ আমরা ইনফ্রারেড হিটার দিয়ে ফটোরেজিস্ট প্রি-বেক চালাই: দ্রুত, বিকিরণ তাপের সাথে সঠিক তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ। শর্ট-ওয়েভ আইআর উপাদানগুলি সাব-সেকেন্ড সময়ের মধ্যে প্রতিক্রিয়া জানায়, তাই ওয়েফারের মধ্যে অ-সমানতা তৈরি করা ল্যাগ চলে যায়। ওয়েফার-স্তরের সমানতা সম্পূর্ণ পৃষ্ঠ জুড়ে ±০.১°C পৌঁছায়, এবং সেটপয়েন্ট পুনরাবৃত্তি ±০.২°C পরিবর্তন-থেকে-পরিবর্তনে ধরে রাখে। এই হিটারগুলি ক্লাস ১-১০০ ক্লিনরুমে স্বাচ্ছন্দ্যে বসে থাকে, কোন কণা এক্সকর্শন নেই এবং কম আউটগ্যাসিং রয়েছে। ক্লোজড-লুপ নিয়ন্ত্রণ তাপীয় বাজেটকে স্থিতিশীল রাখে, তাই সফট বেকের পরে এবং পরবর্তীতে এক্সপোজারের পরে গুরুত্বপূর্ণ মাত্রাগুলি স্পেসিফিকেশনের মধ্যে থাকে।
এটি কেন ফটোরেজিস্ট প্রক্রিয়াকরণে প্রযোজ্য সফট বেক হল যেখানে সলভেন্ট অপসারণ এবং ফিল্ম স্ট্রেস সেট হয়। আইআর-এর সাথে, শক্তি সরাসরি রেজিস্টে যায়, ক্যারিয়ারে নয়, তাই সলভেন্ট অতিরিক্ত উত্তাপ ছাড়াই দ্রুত বাষ্পীভূত হয়। আপনি ধারাবাহিক পুরুত্ব, কম ত্রুটি ঘনত্ব এবং পরিষ্কার লাইন-এজ রাফনেস পান। সিস্টেমটি ২৪/৭ চলে, যা ন্যূনতম রক্ষণাবেক্ষণ প্রয়োজন, কনভেকশন টুলের তুলনায় কম শক্তি ব্যবহার করে এবং অপারেটিং খরচ বাড়ানো ছাড়াই সাইকেল সময় কাটায়।
আপনাকে যা নজর রাখতে হবে আইআর কর্মক্ষমতা এমিসিভিটি এবং রিফ্লেক্টিভিটির উপর নির্ভর করে, তাই উচ্চ ধাতব উপাদানের স্ট্যাকগুলি সেটপয়েন্ট পুনঃক্যালিব্রেশন এবং জোন পাওয়ারের পুনঃসন্তুলনের প্রয়োজন হতে পারে। ইনস্টলেশনের জন্য পরিষ্কার লাইন-অফ-সাইট এবং পরিষ্কার অ্যালাইনমেন্ট প্রয়োজন যাতে গরম স্থানের সৃষ্টি না হয়। এমিসিভিটি ম্যাপ করতে এবং জোন প্রোফাইল টিউন করতে একটি ছোট কমিশনিং সময়কাল প্রয়োজন, তবে একবার সেট হয়ে গেলে, প্রক্রিয়ার উইন্ডো খুলে যায় এবং বেকগুলি প্রতিদিন স্থিতিশীল এবং পুনরাবৃত্তিযোগ্য থাকে।