ফ্যাব ফ্লোরে, ফটোরেসিস্টকে নির্দিষ্ট তাপমাত্রায় গরম করা কোনো “ঐচ্ছিক” ব্যাপার নয়—এটাই হলো অপরিহার্য প্রক্রিয়া। যদি এই প্রক্রিয়াটি সঠিকভাবে সম্পন্ন না হয়, তাহলে ওয়েফারের আকার-আকৃতি বিঘ্নিত হয়ে যায়। হার্ড বেক প্রক্রিয়ায় যদি সমানতা বজায় না থাকে, তাহলে উৎপাদন ব্যর্থ হয়ে যায়। আমরা এই সমস্যাগুলো দূর করার জন্য সিরামিক ইনফ্রারেড হিটার প্যানেল তৈরি করেছি; যাতে ২৪/৭ কাজ করা লিথোগ্রাফি মেশিনগুলো নির্দিষ্ট তাপমাত্রা বজায় রাখতে পারে।
প্রযুক্তিগতভাবে কী গুরুত্বপূর্ণ?
এই প্যানেলগুলো দ্রুত ও সঠিকভাবে তাপ সরবরাহ করে। ওয়েফারের পৃষ্ঠে তাপমাত্রা ±০.১°C এর মধ্যেই থাকে; আর প্রতিটি চক্রেই একই ফলাফল পাওয়া যায়। এই ডিজাইনে কোনো কণা উৎপন্ন হয় না; ফলে ক্লিনরুমের কণা-সংখ্যা Class 1–100 এর মধ্যেই থাকে। বিদ্যুৎ সরবরাহ স্থিতিশীল থাকে; ফলে ফটোরেসিস্টের গুণমান প্রতিটি চক্রেই একই থাকে।
উৎপাদনে এর গুরুত্ব:
উৎপাদনে দ্রুত ও সঠিকভাবে তাপ সরবরাহ করা অপরিহার্য। আমাদের প্যানেলগুলো নির্দিষ্ট তাপমাত্রায় ওয়েফারকে গরম করে; তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ করে এবং র্যাম্প টাইমকে কমিয়ে দেয়। ফলে পুনর্কাজের প্রয়োজন কমে যায়, উৎপাদন কার্যক্ষমতা বৃদ্ধি পায়। শক্তি ব্যবহারও কমে যায়—কারণ ইমিটারগুলো তাপকে সঠিক জায়গায় পাঠায়, চেম্বারের দেয়ালগুলোতে অপচয় হয় না।
ইনস্টলেশন প্রক্রিয়া:
ইনস্টলেশনের সময় হিটারটির আকার ও মাউন্টিং ইন্টারফেসটি যন্ত্রপাতির সাথে মেলানো প্রয়োজন। বৈদ্যুতিক সংযোগগুলোও বিদ্যমান বাসবার ও কানেক্টর সিস্টেমের সাথে মেলানো উচিত। প্যানেলগুলো পরিষ্কার, শুষ্ক বাতাস এবং স্থিতিশীল ভোল্টেজে সর্বোত্তমভাবে কাজ করে। যদি ভোল্টেজ নির্ধারিত সীমার বাইরে চলে যায়, তাহলে কার্যক্ষমতা কমে যায়। তাই আগে থেকেই থার্মাল বাজেট ও অন্যান্য বিষয়গুলো নির্ধারণ করা উচিত; যাতে প্যানেলটি চেম্বারের জ্যামিতির সাথে সামঞ্জস্যপূর্ণভাবে কাজ করতে পারে।