如何防止真空红外灯发生爆炸 在真空中使用红外加热器时，物理环境会发生变化。在正常空气中，灯泡周围的气体有助于将电流限制在应有的范围内。但一旦进入真空环境，这种保护机制就消失了，从而大大增加了电弧放电的风险。 因此，我们不会只对部分灯泡进行检测。每颗离开我们工厂的灯泡都会经过严格的电压耐受性和绝缘电...

在智能工厂中实现精准控温 如果你正在打造适用于工业4.0的智能工厂，那你肯定已经意识到，传统的加热方式已经不再适用了。那些传统的电阻式加热器效率实在太低了。当整个生产线都实现数字化并且以极快的速度运转时，显然无法等待整个加热腔室慢慢升温。 因此，我们选择使用与真空环境相兼容的红外加热系统。这种系统...

在晶圆厂车间，软烘或硬烘过程中的热偏差不仅仅是影响良率，而是直接破坏良率。当Leybold真空加热器开始出现漂移时，光刻胶的剖面会坍塌，关键尺寸（CD）均匀性变差，且蚀刻偏移增大。我们设计制造了这些Leybold真空加热器备件，以确保热预算的准确，循环稳定可控。 下面是设备关键点。加热组件能够保持...