在芯片制造车间中，评估光刻胶烘烤效果时，不能仅依据温度数值来判断。更重要的是要关注设备的正常运行时间、颗粒数量是否保持稳定，以及数千块晶圆上的CD值是否一致。如果烘烤加热器出现故障，生产线就会停止运转，从而导致产品损失以及能源浪费。 我们设计的这款加热器的优点及其重要性 我们采用了短波红外元件和石...

在生产车间，您知道风险所在。在光刻胶软烘烤过程中，1°C 的温度波动可能在曝光之前就会导致 300mm 晶圆报废。传统的热板在边缘卷曲方面存在问题，热滞后导致批次间重复性困难。您需要一种热处理方法，能够与旋涂保持同步，并在光刻时达到目标。 底层重要因素 我们使用红外加热器进行光刻胶预烘烤：快速、辐...