На виробничій лінії оцінювання якості процесу висушування фоторезисту здійснюється не лише за допомогою показників температури. Важливими є також час роботи обладнання, кількість частинок, які не утворюються під час процесу, а також стабільність параметрів CD на тисячах пластин. Якщо нагрівач починає працювати некоректно, робота лінії зупиняється – це призводить до втрат продукції та енергії.
Що ми створили та чому це важливо
Ми створили цей нагрівач для висушування фоторезисту на основі елемента короткохвильового інфрачервоного випромінювання та теплового сердечника з кварцовим наповнювачем. Саме цей підхід дозволяє досягти однорідності температури на рівні ±0,1°C. Корпус нагрівача розроблений для роботи в умовах чистої кімнати класу 1–100: запірні елементи та конструкція, яка зменшує викиди газів, забезпечують відсутність частинок під час роботи.
Стабільність температури зберігається як під час м’якого, так і жорсткого висушування, тож параметри процесу залишаються стабільними з однієї зміни на іншу. Обладнання розраховане на 24/7 роботу без несподіваних збоїв. Тривалість служби збільшується завдяки корозійостійкій конструкції та контрольованому тепловому градієнту, який зменшує навантаження на обладнання.
Чому це важливо у літографії
У літографії температура висушування впливає на характеристики фоторезисту, кількість залишкових розчинників та селективність процесу етchingу. Завдяки цьому нагрівачу можна отримувати стабільні результати при кожній серії виробництва, скоротити кількість необхідних корекцій та покращити контроль параметрів CD.
Крім того, споживання енергії зменшується. Нагрівач швидко досягає заданої температури та утримує її без перевищень, тож витрати на енергію на одну пластину зменшуються. Менше замін обладнання також означає менше перерв у роботі.
Що необхідно врахувати під час встановлення та експлуатації
Під час встановлення важливо точно вирівняти нагрівач з поверхнею нагрівальної плати, а також правильно підключити електроприлади та системи керування. Некоректне підключення може призвести до появи перешкод, які проявляються у формі проблем з однорідністю температури.
Нагрівач працює найкраще, коли потік повітря в камері є стабільним, а температура навколишнього середовища знаходиться в заданому діапазоні. Потрібно періодично калібрувати обладнання, щоб зберегти однорідність температури на рівні ±0,1°C. Однак між калібруваннями можуть пройти значні проміжки часу – наші пристрої працюють протягом десятків тисяч годин без жодних проблем.