Pemanas untuk proses pengeringan bahan fotoresist yang tahan lama
Di pabrik pembuatan chip, penilaian terhadap kualitas proses pemanasan fotoresist tidak dilakukan berdasarkan suhu saja. Penilaian tersebut dilakukan...
Pemanas inframerah pra panggang fotoresist
Di lantai pabrik, Anda tahu apa yang dipertaruhkan. Perubahan 1°C selama soft bake photoresist dapat merusak wafer 300mm sebelum Anda bahkan mencapai...