Di lantai pabrik, Anda tahu apa yang dipertaruhkan. Perubahan 1°C selama soft bake photoresist dapat merusak wafer 300mm sebelum Anda bahkan mencapai paparan. Piring pemanas konvensional berjuang melawan roll-off tepi, dan keterlambatan termal terus menciptakan masalah pengulangan dari lot ke lot. Anda memerlukan pendekatan panas yang sejalan dengan spin coating dan tepat sasaran dalam litografi.
Apa yang penting di balik layar
Kami menjalankan pre-bake photoresist dengan pemanas inframerah: panas radiasi cepat dengan kontrol suhu yang ketat. Elemen IR gelombang pendek merespons dalam waktu sub-detik, sehingga keterlambatan yang menyebabkan non-uniformitas dalam wafer hilang. Uniformitas tingkat wafer mencapai ±0.1°C di seluruh permukaan, dan pengulangan setpoint tetap dalam ±0.2°C dari shift ke shift. Pemanas ini dengan nyaman berada di cleanroom Kelas 1–100, dengan nol ekskursi partikel dan rendah pengeluaran gas. Kontrol loop tertutup menjaga anggaran termal tetap stabil, sehingga dimensi kritis tetap sesuai spesifikasi setelah soft bake dan paparan yang menyusul.
Mengapa ini penting dalam pemrosesan photoresist
Soft bake adalah tempat penghilangan pelarut dan tekanan film diatur. Dengan IR, energi langsung masuk ke resist, bukan ke pembawa, sehingga pelarut menguap lebih cepat tanpa overshoot. Anda mendapatkan ketebalan yang konsisten, densitas cacat yang lebih rendah, dan kekasaran tepi garis yang lebih bersih. Sistem berjalan 24/7 dengan perawatan minimal, menarik lebih sedikit energi dibandingkan alat konveksi, dan memotong waktu siklus tanpa menambah biaya operasional.
Apa yang perlu Anda perhatikan
Kinerja IR bergantung pada emisivitas dan reflektivitas, jadi tumpukan dengan konten logam tinggi mungkin memerlukan kalibrasi ulang setpoint dan penyeimbangan ulang daya zona. Instalasi memerlukan garis pandang yang jelas dan penyelarasan yang bersih untuk menghindari titik panas. Ada periode commissioning singkat untuk memetakan emisivitas dan menyetel profil zona, tetapi setelah itu selesai, jendela proses terbuka dan bakes tetap stabil dan dapat diulang, hari demi hari.