फैब फ्लोर पर, यदि बेकिंग प्रक्रिया में कुछ डिग्री का अंतर हो जाए, तो इससे वेफरों के आकार में बदलाव हो जाता है; ऐसी स्थिति में अच्छे वेफर भी बेकार हो जाते हैं। हमने ऐसी स्थितियों से निपटने हेतु ओजोन-रहित इन्फ्रारेड लैंप विकसित किए हैं। उद्देश्य यह है कि वेफरों पर स्थिर तापमान बना रहे, ताकि उनका आकार न बदले।
वास्तव में, महत्वपूर्ण बात तो लोड के दौरान भी स्थिरता है। हमारे NIR एमिटर, तापमान को तेजी से नियंत्रित करते हैं, एवं बेकिंग क्षेत्र में वेफरों पर तापमान को ±0.1°C के भीतर ही रखते हैं। इससे बैच-दर-बैच वेफरों की गुणवत्ता स्थिर रहती है। ओजोन-रहित तकनीक के कारण चैंबर में कोई संदूषण नहीं होता, एवं कणों की संख्या भी कम रहती है – यह क्लास 1–100 की स्वच्छ कक्षाओं के अनुरूप है। 5,000+ घंटों तक उत्पादन स्थिर रहता है, एवं ल्यूमेन/तापमान में 5% से भी कम बदलाव होता है।
इसका अर्थ है कि वेफरों की गुणवत्ता बेहतर रहती है, पुनर्निर्माण की आवश्यकता कम हो जाती है, एवं रखरखाव के लिए आवश्यक समय भी कम हो जाता है।
यह सब उपकरण की उपलब्धता एवं उत्पादन दक्षता से संबंधित है। लैंप तुरंत ही काम शुरू कर देता है, निर्धारित तापमान को बनाए रखता है, एवं 7×24 घंटे बिना किसी रुकावट के काम करता है। ऊर्जा खपत पारंपरिक प्रणालियों की तुलना में कम है, एवं लंबे समय तक काम करने के कारण स्पेयर पार्ट्स एवं रखरखाव लागत भी कम हो जाती है। लिथोग्राफी में, इसका अर्थ है कि फोटोरेसिस्ट की गुणवत्ता बेहतर रहती है, उत्पादन प्रक्रिया में रुकावटें कम हो जाती हैं, एवं प्रति वेफर लागत में भी कमी आती है।
एकीकरण हेतु कुछ व्यावहारिक सुझाव: रिफ्लेक्टरों की ज्यामिति एवं कूलेंट फ्लो पर ध्यान दें – ये ही तापमान नियंत्रण में महत्वपूर्ण भूमिका निभाते हैं। यदि इसे मौजूदा ओवन/हॉट प्लेटों में इस्तेमाल किया जा रहा है, तो लैंप के आकार के अनुरूप हार्डवेयर को समायोजित करना आवश्यक है। वोल्टेज एवं कनेक्टर प्रकार को अपने उपकरणों के अनुरूप ही चुनें, एवं संवेदनशील डिटेक्टरों के आसपास EMI शील्डिंग भी आवश्यक है। कैलिब्रेशन जाँचें तो होती ही रहेंगी, लेकिन उनके बीच का समय लंबा होगा।