जब वेफर को अंतिम धोने की प्रक्रिया से निकाला जाता है, तो आपको पता चल जाता है कि समय तेजी से बीत रहा है। यदि ऊष्मा सही समय पर न पहुँचे, या उचित मात्रा में न हो, तो जल-निशान, फोटोरेजिस्ट संबंधी समस्याएँ, एवं उत्पादन में कमी जल्दी ही देखने को मिलेगी। हमने ऐसे इन्फ्रारेड हीटर विकसित किए हैं, ताकि ऐसी समस्याओं को शुरू होने से पहले ही रोका जा सके।
क्या महत्वपूर्ण है?
हम छोटी-तरंगदैर्घ्य वाले इन्फ्रारेड एमिटरों का उपयोग करते हैं; ये ऊर्जा को सीधे ही वेफर तक पहुँचाते हैं, इसलिए प्रतिक्रिया तेज होती है, एवं नियंत्रण भी बेहतर होता है। उत्पादन के दौरान, हम वेफर के तापमान को ±0.1°C के भीतर ही बनाए रखते हैं।
नियंत्रण, कैलिब्रेटेड सेंसरों के माध्यम से ही होता है; चैंबर की दीवारों के माध्यम से नहीं। इसी कारण हर बार उत्पादन में एकरूपता बनी रहती है। हीटर पैकेज, क्लीनरूम-अनुकूल है; इसकी गुणवत्ता क्लास 1–100 है। इसकी सतहें ऐसी हैं कि कणों का उत्पादन एवं गैसों का निकास कम होता है। 5,000+ घंटों तक इसका आउटपुट स्थिर रहता है; स्थिर अवस्था में इसकी तीव्रता में 5% से भी कम परिवर्तन होता है।
लिथोग्राफी एवं फोटोरेजिस्ट प्रक्रियाओं में इसका क्या लाभ है?
लिथोग्राफी एवं फोटोरेजिस्ट प्रक्रियाओं में तापमान नियंत्रण बहुत ही महत्वपूर्ण है। “सॉफ्ट बेक” एवं “हार्ड बेक” प्रक्रियाओं में तापमान को नियंत्रित रखना आवश्यक है, ताकि CD, प्रोफाइल, एवं दोषों की संख्या उचित रहे। हमारे इन्फ्रारेड हीटर, वेफरों को जल्दी ही सुखा देते हैं; इसलिए फोटोरेजिस्ट की गुणवत्ता बनी रहती है, एवं लाइन-चौड़ाई का नियंत्रण भी बेहतर रहता है।
ऐसे में गति तो मिलती ही है, साथ ही एकरूपता भी बनी रहती है। ऊर्जा की खपत भी कम होती है, क्योंकि ऊष्मा सीधे ही आवश्यक स्थान पर ही जाती है। इसका परिणाम है – स्थिर दोष-संख्या, पूर्वानुमेय प्रदर्शन, एवं कम पुनर्कार्य।
कुछ और विवरण…
स्थापना के लिए उचित माउंटिंग टोलरेंस एवं एयरफ्लो रूटिंग आवश्यक है। ±0.1°C की एकरूपता हासिल करने हेतु स्थिर लैमिनार फ्लो आवश्यक है; क्रॉस-ड्राफ्ट को भी नियंत्रित करना आवश्यक है। हीटर, मानक सेमीकंडक्टर उपकरणों के साथ ही काम करता है; लेकिन इंटीग्रेशन हेतु क्लीयरेंस, थर्मल लोड, एवं सेंसरों की स्थिति की जाँच आवश्यक है।
हीटर की आयु लंबी होती है; लेकिन फिर भी तापमान सेंसर को नियमित रूप से कैलिब्रेट करना आवश्यक है। ऐसा करने से ही निर्धारित एकरूपता लंबे समय तक बनी रहती है।