शार्ड्स को रोकें: आईआर हीटिंग में लैंपों के फटने की समस्या से निपटना
यदि आप उच्च-लोड वाले वेफर उत्पादन कर रहे हैं, तो आपको इस समस्या का अहसास होगा। एक ही लैंप फट जाने से पूरी उत्पादन लाइन ठप हो जाती है। समस्या केवल उत्पादन रुकने तक ही सीमित नहीं है; बल्कि क्वार्ट्ज के टुकड़े एवं धातु के टुकड़े हर जगह बिखर जाते हैं, जिससे सिलिकॉन वेफर्स खराब हो जाते हैं। ऐसी स्थिति में आपको बड़ा नुकसान उठाना पड़ता है।
हम अपने क्लीन रूम में उपयोग होने वाले इन्फ्रारेड हीटरों को ऐसे ही डिज़ाइन करते हैं, ताकि ऐसी स्थितियाँ न हों।
हम ऐसी स्थितियों से कैसे बचते हैं?
जब थर्मल स्ट्रेस बहुत अधिक हो जाता है, या लैंप को कोई भौतिक झटका लग जाता है, तो अधिकांश क्वार्ट्ज ट्यूबें टूट जाती हैं। इस समस्या को दूर करने हेतु हम उच्च-शुद्धता वाले क्वार्ट्ज का उपयोग करते हैं। हमने उपयोग की जाने वाली वाटेज के अनुरूप दीवारों की मोटाई को ठीक से निर्धारित किया है। इस तरह, जब तापमान तेज़ी से बढ़ता है, तो आंतरिक तनाव नहीं बढ़ता।
लेकिन हम केवल काँच पर ही भरोसा नहीं करते। हम हीटिंग एलिमेंट को एक सुरक्षात्मक कवर में लपेटते हैं। इसे एक “बीमा पॉलिसी” के रूप में ही समझें। यदि लैंप टूट जाता है, तो यह कवर सभी टुकड़ों को रोक लेता है। आपके वेफर्स साफ रहते हैं… आपके उत्पादों को किसी भी संभावित आपदा से बचाने हेतु यह एक अच्छा उपाय है।
तापमान का प्रबंधन
लैंपों के छोरों पर ही वास्तविक समस्याएँ शुरू होती हैं। वहीं पर तापमान सबसे अधिक होता है, और वहीं पर ही लैंप टूट जाते हैं। हम ऐसी स्थितियों से बचने हेतु मजबूत इलेक्ट्रोडों का उपयोग करते हैं।
एक छोटी सी सलाह: अपने पावर सप्लाई पर ध्यान दें। यदि आप वोल्टेज को बहुत अधिक बढ़ा देते हैं, तो लैंप टूट जाएगा। हम हमेशा धीरे-धीरे ही वोल्टेज बढ़ाने की सलाह देते हैं… ताकि क्वार्ट्ज को स्वाभाविक रूप से ही फैलने का समय मिल सके।
समझौता
यहाँ एक ईमानदारी से बताना आवश्यक है… कवर एवं मजबूत सीलों के कारण लैंप की क्षमता में 3-5% की कमी हो जाती है।
क्या यह समस्या है? वास्तव में नहीं।
पूरी उत्पादन लाइन ठप होने एवं वेफर्स खराब होने की स्थिति की तुलना में, थोड़ी सी ऊष्मा हानि कोई बड़ी समस्या नहीं है। आपके PID कंट्रोलर इस थोड़ी सी ऊष्मा हानि को आसानी से संभाल सकते हैं। अच्छी नींद पाने हेतु यह एक छोटी सी कीमत है।