Arrêter les éclats : Maintenir vos wafers MEMS propres
Dans une usine de fabrication de MEMS, une lampe infrarouge qui cesse de fonctionner n’est pas simplement un problème gênant : c’est un véritable cauchemar. Imaginez un tube en quartz qui cède sous une charge importante : il ne s’arrête pas simplement de fonctionner, il explose, projetant des éclats de verre et des particules métalliques sur la surface du wafer. Ainsi, votre rendement diminue drastiquement. Nous conçons nos chauffages à infrarouges de manière à éviter que cela ne se produise.
Pourquoi les tubes explosent-ils ?
Généralement, cela est dû à des contraintes thermiques ou à des arcs électriques à l’endroit où se trouve le joint hermétique. Lorsque la production est poussée à ses limites, ces tubes subissent de nombreuses sollicitations. Pour lutter contre cela, nous utilisons du quartz synthétique de haute pureté. Ce matériau présente un coefficient d’expansion thermique très faible, ce qui signifie qu’il peut résister aux chocs liés au chauffage et au refroidissement rapides sans se briser. Il est donc conçu pour supporter ces contraintes.
Limitation des débris
Si une lampe tombe en panne, il ne faut pas que les débris atteignent les wafers. C’est pourquoi nous utilisons un système de sécurité à double couche. Nous plaçons un manchon en quartz spécial ou un bouclier protecteur entre l’élément chauffant et le wafer. Cela agit comme une barrière : si la lampe tombe en panne, les éclats restent prisonniers du manchon. Les wafers restent ainsi propres. De plus, nous sommes très stricts concernant les connecteurs. Si un terminal n’est pas correctement fixé, des points chauds peuvent apparaitre, endommageant le quartz. Nous utilisons des fixations précises afin que la charge électrique soit répartie uniformément sur le filament. Aucun point chaud, aucune faiblesse.
L’équilibre à trouver
Le problème, c’est que seul un chauffage infrarouge à haute densité permet de sécher rapidement ces wafers. Mais on ne peut pas augmenter indéfiniment la puissance utilisée. Plus la puissance est élevée, plus la pression exercée sur le verre est grande. Il s’agit donc d’un compromis. Pour éviter que les lampes ne tombent en panne prématurément, le flux d’air de refroidissement doit être parfaitement adapté à la puissance de la lampe. Si la coque devient trop chaude, la durée de vie de la lampe diminue considérablement. Nous concevons ces dispositifs pour des environnements opérationnels 24/7. L’objectif est simple : maintenir une température élevée tout en évitant toute presence de débris.