در فرآیند لیتوگرافی، به سرعت متوجه میشوید که حتی تغییر نیم درجهای در دمای فر، میتواند باعث تغییر موقعیت سیدیها شود. اگر دمای فر بیش از حد بالا باشد، منجر به ایجاد ناخالصیها و کاهش کیفیت محصول خواهد شد. کنترل دما چیزی نیست که بتوان آن را نادیده گرفت؛ بلکه یک محدودیت مهم برای کنترل کیفیت، عرض خطوط و تعداد نقصهاست. عناصر گرمایشی شرکت اکسفورد اینسترومنتس، برای این منظور طراحی شدهاند؛ آنها گرما را دقیقاً در همان جایی که فرآیند به آن نیاز دارد، تأمین میکنند.
چه چیزی اهمیت دارد؟ عناصر گرمایشی، برای حفظ یکنواختی دمایی در سطح ویفر، طراحی شدهاند؛ به طور معمول، دما در سطح ویفر در طول مراحل گرم کردن، بین ±۰.۱ درجه سانتیگراد باقی میماند. این عناصر در محیطهای استاندارد کلاس ۱ تا ۱۰۰ قابل استفاده هستند و برای کاهش تولید ذرات نیز طراحی شدهاند. قابلیت تکرارپذیری عملکرد این عناصر، در تمام ساعات شبانهروز حفظ میشود؛ بنابراین پروفایلهای فوتورزیست نیز پایدار باقی میمانند و از ایجاد ناخالصیها جلوگیری میشود. کنترل دما نیز بسیار دقیق است؛ بنابراین دما با شرایط شیمیایی فوتورزیست هماهنگ میشود، نه بر اساس حدس و گمان.
چرا این موضوع در فرآیند فوتورزیست اهمیت دارد؟ در مراحل گرم کردن، فر یا صفحه گرم، باید هر بار دمای مشخصی را در همان نقطه ایجاد کند. این کار باعث میشود که فرآیند گرم کردن به طور یکنواخت انجام شود و کنترل کیفیت سیدیها و تعداد نقصها نیز حفظ شود. ساختار این عناصر گرمایشی، باعث کاهش تعداد ذرات در محیطهای استاندارد میشود؛ بنابراین سطح ویفر در حین انتقال و گرم کردن، در امان میماند. قابلیت اطمینان این عناصر، منجر به کاهش توقفات غیرمنتظره، کاهش نیاز به بازبینیهای مجدد و کاهش نیاز به تغییرات در ماسکها میشود.
چه کارهایی باید انجام دهید؟ این عناصر گرمایشی، با رابطهای استاندارد نصب و اتصال سازگار هستند؛ اما سطح رابط باید صاف و تمیز باشد؛ در غیر این صورت، یکنواختی دما از بین میرود. باید از روشهای مناسب برای اتصال این عناصر استفاده کرد و همچنین از سازگاری ولتاژ و کانکتورها با تجهیزات مربوطه اطمینان حاصل کرد. باید با این عناصر مانند یک قطعه اندازهگیری دقیق رفتار کرد؛ یعنی آنها را در محیط کنترلشده نگهداری کرد و به طور دورهای آنها را کالیبره کرد تا عملکرد آنها در تمام محافظههای ویفر، در حد ±۰.۱ درجه سانتیگراد باقی بماند.