در کارخانههای تولید نیمههادی، تغییر دما در حد ۰.۵ درجه سانتیگراد در فرآیند پختن فوتورزیست، میتواند باعث شود که محصولات با کیفیت، به ضایعات تبدیل شوند. ویفرها در حالت انتظار باقی میمانند؛ برنامههای تولید نیز به تأخیر میافتند. تعداد ذرات نیز افزایش مییابد. ما یک عنصر گرمایشی مناسب برای جلوگیری از چنین اتفاقاتی طراحی کردهایم.
آنچه از نظر فنی اهمیت دارد: هسته این سیستم، یک گرمایشکن مبتنی بر کوارتز است؛ این گرمایشکن با شرایط حرارتی مربوط به فرآیندهای لیتوگرافی و پختن محصول، سازگار است. ما تنوع دمایی روی سطح ویفر را در حد ±۰.۱ درجه سانتیگراد نگه میداریم؛ این اندازهگیری با استفاده از ترموکوپلهای دقیق انجام میشود. این گرمایشکن به سرعت دما را تنظیم میکند؛ بنابراین الگوهای گرمایشی یکسانی در هر دفعه تولید حاصل میشود.
این سیستم سازگار با محیطهای پاک است؛ دارای رده کیفیت ۱ تا ۱۰۰ است، و از موادی با انتشار گاز کم استفاده میکند. چنین ساختاری باعث میشود که بازدهی تولید حفظ شود.
چرا این سیستم در عمل مؤثر است: در فرآیند پردازش فوتورزیست، یکنواختی دما مستقیماً بر کنترل کیفیت محصول و صافی لبههای خطوط تأثیر میگذارد. گرمایشکن ما، منطقه گرم را پایدار نگه میدارد؛ بنابراین نیاز به بازسازی محصول کاهش مییابد. سازگاری با محیطهای پاک و عدم تولید ذرات، باعث کاهش تعداد نقصها میشود؛ همچنین، چرخههای تولید پایدار و قابل تکرار، زمان لازم برای تولید هر ویفر را کاهش میدهد و مصرف انرژی را نیز کم میکند.
چیزهایی که باید بدانید: نصب این سیستم نیازمند تطبیق دقیق آن با محفظه فرآیند و وجود یک رابط حرارتی مناسب است. این گرمایشکن زمانی بهترین عملکرد را دارد که با جرم حرارتی و جریان هوای محفظه سازگار باشد؛ در غیر این صورت، تنوع دمایی ایجاد میشود.
لازم است هر ۲۰۰۰ ساعت، این سیستم کالیبره شود؛ همچنین باید عناصر یدکی در دسترس باشند؛ زیرا در زمانی که بیشترین نیاز به آنها وجود دارد، در دسترس نخواهند بود. ما نوع کانکتور، ولتاژ و ابعاد این سیستم را مشخص کردهایم تا بتواند به راحتی در محفظه فرآیند ادغام شود؛ اما نصب نهایی، مسئولیت مشترکی است.