Ihren Reinraum sauber halten – einfach und effektiv.
Das ist die Realität bei der Halbleiterfertigung: In einem Reinraum der Klasse 100 kann bereits ein einziger Staubkorn alles ruinieren. Deshalb darf man bei der Verwendung von Heizgeräten nicht einfach irgendein Gerät nehmen – man braucht ein Gerät, das keine Kontaminationen verursacht.
Wir haben unsere hochreinen Quarz-Infrarotheizer genau für solche Situationen entwickelt. Hier gilt Reinheit nicht nur als Ziel – sie ist vielmehr die einzige Möglichkeit.
Leistung in kompakter Form
Diese Heizer zeichnen sich durch ihre Leistungsfähigkeit aus – auch dann, wenn der Platz begrenzt ist. Ein typisches Gerät arbeitet mit 400 V und liefert 2500 W Leistung in einem 300 mm langen Gehäuse. Das bedeutet: Viel Wärme konzentriert auf einer kleinen Fläche. Der Vorteil: Man kann das zu beherrschende Objekt schnell erwärmen, ohne dass die gesamte Maschine überhitzt.
Es handelt sich dabei um ein bewusst kompaktes Design – schließlich ist im Bereich der Halbleiterfertigung jeder Zentimeter kostbar.
Das Geheimnis: Reiner Quarz
Der Kern dieses Heizers ist die Quarzhülle. Im Gegensatz zu Heizern mit Metallhüllen gibt reiner Quarz keine Partikel ab – auch dann nicht, wenn er schnell erhitzt oder abgekühlt wird. Zudem ist das Infrarotelement halogenbasiert, wodurch es sofort einschaltet und eine konstante Leistung liefert.
Wir beschichten den Quarz, damit der Glühfaden gut geschützt ist und es zu keinen Hotspots kommt, die im Laufe der Zeit Schäden verursachen könnten. Für die elektrische Verbindung verwenden wir R7s- oder SK15-Stecker. Sie sind widerstandsfähig, hitzebeständig und garantieren eine stabile Verbindung.
Für die Praxis entwickelt
In der Halbleiterfertigung eignen sich diese Heizer perfekt als Ersatz für herkömmliche Infrarotheizer. Sie können die hohen Temperaturanforderungen bei der Waferverarbeitung, Verklebung und Prüfung bewältigen – ohne dabei Kontaminationen zu verursachen.
Allerdings gibt es einen Trade-off: Eine solche Leistungsintensität führt zu erheblicher Hitzeentwicklung. Wenn man ein 2500-W-Gerät an einem begrenzten Ort einsetzt, müssen die Belüftungs- und Kühlsysteme der Maschine der Herausforderung gewachsen sein. Andernfalls besteht die Gefahr, dass die Komponenten frühzeitig versagen.
Das ist der Preis für die Verwendung hoher Leistungen in einem sauberen Umfeld. Planen Sie entsprechend – dann erhalten Sie die gewünschte Leistung, ohne Sorgen.