In der Fertigungshalle reicht bereits eine Abweichung von 0,5 °C bei der Erhitzung des Photoresists aus, damit ein guter Produktlot zu Schrott wird. Die Wafer warten einfach nur darauf, verarbeitet zu werden. Die Termine verspäten sich, die Anzahl der Partikel nimmt zu. Wir haben einen Heizelement für den Halbleiterprozess entwickelt, um solche Verluste bereits im Vorfeld zu verhindern.
Was technisch wichtig ist:
Im Kern handelt es sich um einen auf Quarz basierenden Kurzwellen-Infrarotheizer, der optimal auf die thermischen Anforderungen der Lithografie- und Aushärtungsprozesse abgestimmt ist. Auf der gesamten Fläche der Wafer wird eine Temperaturgleichmäßigkeit von ±0,1 °C gewährleistet – gemessen mit kalibrierten Thermoelementen direkt am Produkt. Die Heizelemente reagieren schnell und zuverlässig, sodass die Profile für die Weich- und Hartbehandlung von Lot zu Lot konstant bleiben.
Der Heizer ist für den Einsatz in Reinräumen geeignet, hat eine Klasse 1–100, verwendet Materialien mit geringer Gasemission sowie eine Konstruktion, die das Entstehen von Partikeln verhindert. Eine solche Konstruktion sorgt dafür, dass die Ausbeute hoch bleibt.
Warum es in der Praxis funktioniert:
Beim Verarbeiten von Photoresist hat die Temperaturgleichmäßigkeit direkten Einfluss auf die Genauigkeit der Strukturen sowie auf die Rauheit der Konturen. Unser Heizelement stabilisiert die heiße Zone, was dazu führt, dass Unregelmäßigkeiten innerhalb der Wafer reduziert werden und Wiederarbeiten erforderlich sind. Die Kompatibilität mit Reinräumen sowie die vollständige Vermeidung von Partikeln sorgen dafür, dass die Defektdichte niedrig bleibt. Zudem verkürzen stabile, wiederholbare Prozesse die Zeit pro Wafer und senken den Energieverbrauch.
Was man wissen muss:
Die Installation erfordert eine präzise Ausrichtung des Heizers in Bezug auf die Prozesskammer sowie eine optimale thermische Verbindung. Der Heizer funktioniert am besten, wenn er zur thermischen Masse sowie zum Luftstrom der Kammer passt; andernfalls kommt es zu Unregelmäßigkeiten in der Temperaturverteilung. Es wird empfohlen, alle 2.000 Stunden die Kalibrierung durchzuführen und Ersatzelemente bereitzuhalten – schließlich fehlen diese gerade dann, wenn sie am meisten gebraucht werden. Wir geben außerdem an, welcher Steckverbindertyp, welche Spannung sowie welche Abmessungen erforderlich sind, damit der Heizer problemlos integriert werden kann. Doch die endgültige Montage bleibt weiterhin eine gemeinsame Verantwortung.