Hören Sie auf, sich Sorgen wegen defekter Infrarotlampen in Ihrem Wafer-Verarbeitungsprozess zu machen.
In einer Hochleistungssemikundenanlage ist ein defekter Infrarotstrahler kein einfaches Problem – es handelt sich dabei um ein echtes Albtraum-Szenario. Wenn eine Quarzröhre kaputtgeht, hört sie nicht einfach auf zu funktionieren. Stattdessen sprühen Scherben und Partikel überall auf die Wafer. Eine einzige defekte Lampe kann ganze Chargen zerstören. Wir haben eine bessere Lösung gefunden: Wir umhüllen die Infrarotlampen mit speziellen Gehäusen aus Edelstahl.
Die Kontrolle des Chaos
Betrachten Sie das Gehäuse als„Bodyguard“ für Ihre Werkstücke. Wir verwenden hochwertigen Edelstahl, um eine physische Trennwand zwischen dem Heizelement und den Wafern zu schaffen. Wenn eine Lampe unter thermischem Stress zerbricht, fingert das Gehäuse alle Scherben auf. Dadurch bleiben die Scherben an ihrem Platz – keine Scherben gelangen in die Verarbeitungszone, keine beschädigten Wafer, und Ihr Team muss weniger Stress ertragen.
Wir haben viel Zeit investiert, um die Dicke der Wand genau richtig einzustellen. Ist sie zu dick, entsteht zu viel Wärme. Zu dünn? Das Gehäuse beginnt zu vibrieren – das macht die Lampen noch schneller defekt. Es handelt sich dabei um ein feines Gleichgewicht – aber es funktioniert.
Stabilität ist wichtig
Wir haben uns auch auf die Halterungen konzentriert. Wenn eine Lampe nachgibt, entstehen heiße Stellen. Solche heißen Stellen führen wiederum zu Defekten. Ganz einfach.
Um das zu verhindern, verwenden wir präzise gefertigte Halterungen sowie hitzebeständige Clips. Der Trick: Die Clips halten die Lampen fest, lassen ihnen aber trotzdem Raum, sich bei Erwärmung auszudehnen. Wenn man die Clips zu fest feststellt, brechen die Lampen bereits beim Anheben der Leistung zusammen.
Der Kompromiss
Nichts ist perfekt. Durch das Hinzufügen eines Gehäuses entsteht eine Metallschicht zwischen der Wärmequelle und den Wafern. Dadurch entsteht ein gewisser Wärmeverzug im Vergleich zu einem System ohne Gehäuse. Wahrscheinlich müssen Sie die Einstellungen des PID-Reglers anpassen oder die Leistung etwas erhöhen, damit die Prozesse weiterhin reibungslos ablaufen.
Die gute Nachricht: Unsere Gehäuse sind als Ersatzteile konzipiert. Sie können sie direkt in Ihre bestehenden Anlagen einbauen, ohne das gesamte Chassis zerlegen zu müssen. So können Sie schnell mehr Sicherheit gewährleisten.