
Sicherstellen der Sicherheit beim Erwärmen flüchtiger Chemikalien
Wenn Sie eine Halbleiterfabrik betreiben, kennen Sie die Probleme. Die Reinigungsprozesse erfordern den Einsatz von brennbaren Lösungsmitteln und flüchtigen Reagentien. In einer solchen Umgebung bedeutet das Einsatz eines Standard-Infrarot-Lichts im Grunde ein Risiko für einen Brand.
Es handelt sich dabei um ein enormes Risiko. Deshalb gehen wir anders vor: Wir umhüllen den Heizelement mit einer speziellen Hülle, damit dieses vollständig vor der Umgebungsluft geschützt ist.
Das Problem mit „nackten“ Heizelementen
Standardquarzröhren werden an ihrer Oberfläche extrem heiß. Wenn sich im Raum brennbare Dämpfe befinden, reicht bereits ein Funke oder eine heiße Oberfläche aus, um eine Katastrophe auszulösen.
Um das zu verhindern, verwenden wir explosionsgeschützte Gehäuse. Wir mischen üblicherweise Borosilikatglas mit verstärktem Edelstahl, um eine feste Trennschicht zwischen dem Heizelement und den Chemikalien zu schaffen. Auf diese Weise wird die Wärme über Strahlung übertragen – die flüchtigen Stoffe kommen niemals in Berührung mit dem elektrisch aktiven Filament.
Es handelt sich dabei um eine einfache physikalische Barriere – doch sie ist die einzige Möglichkeit, nachts ruhig schlafen zu können.
Erfolgreiche Abdichtung
Wir nehmen keine Risiken bezüglich der Abdichtung in Kauf. Wir verwenden hermetische Abdichtungen, Hochtemperaturdichtungen sowie spezielle Klebstoffe an den Stellen, an denen die Kabel eingeführt werden. Warum? Weil bei einem Versagen der Abdichtung das Lichtgerät zu einer Gefahr wird.
Indem wir das Innere des Lichtgeräts inert halten, verhindern wir, dass das Wolframfilament oxidiert. Zudem verhindern wir, dass schädliche externe Dämpfe in das elektrische Gehäuse eindringen.
Ein schwieriges Problem ist die thermische Ausdehnung. Das äußere Gehäuse und das innere Lichtgerät dehnen sich bei Erwärmung nicht gleichmäßig aus. Wenn man nicht genug Platz für diese Bewegung lässt, kann das Glas bei schnellen Temperaturwechseln zerbrechen. Wir berücksichtigen daher diese Toleranzen, damit das Gerät ordnungsgemäß funktionieren kann.
Die Vor- und Nachteile
Der Vorteil ist die Stabilität dieser Geräte. Sie sind äußerst zuverlässig und funktionieren auch während langen Betriebszeiten einwandfrei.
Aber es gibt auch Nachteile: Dadurch, dass wir ein Schutzgehäuse verwenden, muss mehr Masse erhitzt werden. Das bedeutet, dass es etwas länger dauert, bis die gewünschte Temperatur erreicht wird. Wahrscheinlich müssen Sie die PID-Einstellungen anpassen, um dieses Verhalten auszugleichen. Andernfalls könnten Sie die Zieltemperatur überschreiten.