Přestaňte zahřívat svůj stroj (a začněte zahřívat wafer)
Při nastavování stanice na zahřívání waferech chcete, aby energie dopadala přímo na křemík. To je vše. Nechcete, aby se vsákla do pouzdra stroje. Problém spočívá v tom, že standardní infračervené lampy jsou neefektivní – vydávají teplo do všech směrů. V omezeném prostoru polovodičového zařízení se tato zbytečná energie jen odráží od vnitřních stěn. Než si to uvědomíte, pouzdro vašeho zařízení se promění v obrovský tepelný zdroj. To vede ke zkreslením komponentů, nebo v horším případě k popáleninám u obsluhy. Uvedení tepla tam, kam patří To řešíme pomocí směrové infračervené technologie. Místo toho, abychom použili obyčejnou křemennou trubici a doufali v to nejlepší, používáme speciální reflektory a povlaky, které nasměrují tyto infračervené vlny. Představte si to jako přechod z běžné žárovky na baterku. Tím, že zúžíme svazek, posíláme energii přímo na povrch wafereu. Tím se zabrání „odpadnímu“ záření, které by mohlo odrážet se od stěn komory. Tepelný efekt zůstává omezený. Energie putuje tam, kam má. Rovnováha: vzdálenost a bezpečnost Místo, kde umístíte lampu, je velmi důležité. Je-li příliš blízko? Vzniknou horké body a nerovnoměrné zahřívání wafereu. Je-li příliš daleko? Ztratíte potřebnou sílu pro rychlé zahřátí. Věnujeme hodně času kalibraci těchto vzdáleností. Cílem je udržet vnitřní stěny dostatečně chladné na dotek. Jelikož lampy fungují směrově, nemusíte na celé rámování stroje nasazovat obrovské chladicí systémy, abyste zabránili roztavení součástek. Nevýhody To ovšem není nějaké kouzelné řešení. Když soustředíte svazek, zvyšujete hustotu tepla v ohnisku. Musíte se ujistit, že vaši regulátory PID jsou správně nastaveny, jinak překročíte požadovanou teplotu. A tady je ten skutečný problém: udržujte optiku čistou. Pokud se na tyto reflektory dostane prach nebo chemikálie používané při procesu, svazek se rozptýlí. Najednou jste zpět na začátku – s přehřátým strojem. Udržujte je čisté, jinak vaše bezpečnostní marginy rychle zmizí.