Když uvidíte, jak se z waferu odstraňuje voda po posledním oplachování, víte, že čas běží. Pokud teplo dorazí pozdě nebo vůbec ne, rychle se objeví stopy po vodě, problémy s povrchem fotorezisty a pokles kvality výrobku. Naše infračervená topida na sušení waferů jsou navržena tak, aby tento proces zastavila ještě předtím, než vůbec začne.
Co je důležité uvnitř zařízení
Používáme malovlnné infračervené emitory v kompaktním kvartovém systému. Jedná se o přímý přenos energie s nízkou tepelnou hmotností, takže dosahujeme rychlé reakce a přesné kontroly. Během výroby udržujeme rovnoměrnost teploty na úrovni ±0,1 °C v celé oblasti sušení.
Kontrola probíhá pomocí kalibrovaného senzoru, nikoliv prostřednictvím stěn komory. Díky tomu zůstává opakovatelnost konstantní v každé sérii výrobků. Topidlo je vhodné pro použití v čistých prostorách, s klasifikací 1–100. Jeho povrchy jsou navrženy tak, aby minimalizovaly tvorbu částic a uvolňování plynů. Výkon topidla zůstává stabilní po dobu více než 5 000 hodin, s odchylkou intenzity menší než 5 % ve stabilním režimu.
Proč to funguje v litografii a zpracování fotorezistu
V litografii a zpracování fotorezistu je tepelný rozpočet velmi omezený. Procesy měkkého a tvrdého sušení musí probíhat v úzkých mezích, aby byla hustota vad na správné úrovni. Naše infračervená topida rychle usuší wafery bez nadměrného zahřátí, takže integrita fotorezistu zůstává zachována a kontrola šířky linek je stále přesná.
Díky tomu získáte rychlost bez kompromisů v oblasti rovnoměrnosti. Spotřeba energie klesá, protože teplo jde přesně tam, kam potřebuje. Výsledkem je stabilita počtu vad, předvídatelný výkon sušení a méně oprav.
Několik detailů týkajících se instalace
Instalace vyžaduje splnění určitých nároků na montáž a ověření správného toku vzduchu. Dosažení rovnoměrnosti ±0,1 °C závisí na stabilním laminárním proudu vzduchu a na tom, aby do oblasti nepronikl vzduch z jiných směrů. Topidlo komunikuje se standardními nástroji na zpracování polovodičů, ale integrace stále vyžaduje kontrolu prostoru, tepelné zátěže a umístění senzorů.
Topidlo má dlouhou životnost, ale stejně je potřeba pravidelně kalibrovat senzor teploty. To zajistí, že požadovaná rovnoměrnost zůstane zachována v průběhu času.