AFM 原子力显微镜 加热器

在光刻过程中，如果样品温度出现半度的波动，AFM扫描就会失效。光阻材料的处理过程——无论是软烘烤还是硬烘烤，以及后续的尺寸控制——都受温度影响。如果加热器无法将温度控制在0.1摄氏度以内的精度范围内，那就不是在精确测量，而是在猜测而已。 从技术角度来说，最重要的就是三点：热稳定性、在洁净室环境中的...