کلاس 100 کلین روم کو واقعی صاف رکھنے کے لئے کیا کرنا ضروری ہے؟
جب آپ کلاس 100 کلین روم چلاتے ہیں، تو ویفر کو گرم کرنے کے دوران پیدا ہونے والی چھوٹی چھوٹی گرد کے ذرات یا گیس کے بادل نہ صرف پریشان کن ہوتے ہیں، بلکہ یہ تباہ کن بھی ہو سکتے ہیں۔ عام ہیٹنگ عناصر ایسی صورتحال کا مقابلہ نہیں کر سکتے۔ جب یہ عناصر گرم ہوتے ہیں، تو وہ پھیلتے اور سکڑتے رہتے ہیں، اور اس عمل کی وجہ سے مائکرو-ذرات پیدا ہوتے ہیں۔ یہ آپ کے کام کے لئے بہت بڑا مسئلہ ہے۔
ہم اس مسئلے کو حل کرنے کے لئے اپنے IR لیمپوں میں اعلیٰ خالصیت والا سنتھیٹک کوارٹز استعمال کرتے ہیں۔
کوارٹز کی اہمیت
ہم ایسا کوارٹز استعمال کرتے ہیں جس میں تقریباً کوئی نجاست نہیں ہوتی۔ اس سے ان تکلیف دہ گرد کے ذرات سے بچا جا سکتا ہے۔
یہ لیمپس شارٹ-ویو IR تابکاری کا استعمال کرتے ہیں۔ اس طرح توانائی براہِ راست ویفر کی سطح پر جاتی ہے۔ یہ بہت فائدہ مند ہے، کیوں کہ اس سے فرش سے اٹھنے والی گرد کم ہو جاتی ہے۔ اس کے علاوہ، کوارٹز کیمیائی طور پر غیرفعال ہوتا ہے؛ یہ کمرے میں موجود گیسوں سے کوئی ردِعمل نہیں دیتا، اس لئے ویفر اپنی اصل حالت میں ہی رہتا ہے۔
ڈیزائن کی تفصیلات
اگر آپ تھن-فلم ڈپوزیشن یا کیورنگ کا کام کرتے ہیں، تو آپ جانتے ہیں کہ درستگی بہت اہم ہے۔ ہم ایسے لیمپ بناتے ہیں جن سے پورے ویفر پر یکساں حرارت پہنچتی ہے۔ آپ کی ضروریات کے مطابق، آپ شفاف کوارٹز استعمال کر سکتے ہیں، تاکہ زیادہ سے زیادہ IR تابکاری ویفر تک پہنچ سکے؛ یا پھر ہم خاص کوٹنگز استعمال کرکے تابکاری کی لہر کو کنٹرول کر سکتے ہیں۔
ہم سیلنگ کے لئے سونے سے ڈھکے یا اعلیٰ نکل والے الیکٹروڈ بھی استعمال کرتے ہیں، تاکہ آکسیکیشن سے بچا جا سکے۔ اگر سیلنگ خراب ہو جائے، تو ہیلوجن گیس باہر نکل جاتی ہے، اور لیمپ فوراً خراب ہو جاتا ہے۔ ہم ان تفصیلات پر بہت توجہ دیتے ہیں، تاکہ آپ کو نئے لیمپ لگانے میں کوئی پریشانی نہ ہو۔
کچھ احتیاطی تدابیر
یہ اعلیٰ شدت والے لیمپ بہت زیادہ حرارت پیدا کرتے ہیں۔ جبکہ ویفر کو درکار حرارت ملتی ہے، لیکن لیمپ کا ڈھانچہ بہت زیادہ گرم ہو جاتا ہے۔ آپ کو اپنے کولنگ سسٹم کو صحیح طریقے سے استعمال کرنا ہوگا۔ اگر ہوا کا بہاؤ کم ہو، تو حرارت کی وجہ سے لیمپ کا ڈھانچہ خراب ہو سکتا ہے۔ اس سے بچنے کے لئے، ہم عموماً خصوصی کولنگ سسٹم یا تیز رفتار ہوا کا استعمال تجویز کرتے ہیں۔ ان حصوں کو ٹھنڈا رکھنا ضروری ہے جو گرم نہیں ہونے چاہئیں۔ بس اتنا ہی۔