لیتھوگرافی کے عمل میں، اگر نمونے کا درجہ حرارت آدھے ڈگری تک بھی بدل جائے، تو AFM اسکین ناکام ہو جاتا ہے۔ فوٹوریزسٹ کی خصوصیات – جیسے کہ سافٹ بیک، ہارڈ بیک، اور اسکے بعد ہونے والے عمل – سبھی درجہ حرارت سے متعلق ہیں۔ اگر آپ کا ہیٹر 0.1°C سے کم درستگی کے ساتھ درجہ حرارت کو برقرار نہ رکھ سکے، تو آپ دراصل کوئی پیمائش نہیں کر رہے، بلکہ صرف قیاس کر رہے ہیں۔
تکنیکی لحاظ سے کیا اہم ہے؟
ہم ان AFM ہیٹرز کو تین چیزوں کی بنیاد پر تیار کرتے ہیں: حرارتی استحکام، کلین روم میں کام کرنے کی صلاحیت، اور دہرانے کی صلاحیت۔ یہ ہیٹر 25°C سے 300°C کے درمیان ±0.1°C کی درستگی کے ساتھ کام کرتا ہے، اور اس کی پیمائش کیلئے کیلیبریٹڈ معیارات استعمال کئے جاتے ہیں۔ اس کی تعمیر میں اعلیٰ خالصیت والا کوارٹز اور شارٹ-ویو NIR عناصر استعمال کئے گئے ہیں، تاکہ گیسوں کا اخراج اور ذرات کی پیداوار کو کم کیا جا سکے۔ سطح کی تیاری اور سیلنگ کو کلاس 1–100 کلین روم کے معیارات کے مطابق کیا گیا ہے، تاکہ ذرات کی تعداد کم رہے اور آلودگی کا خطرہ نہ رہے۔ کنٹرول سسٹم میں PID پروفائل استعمال کیا گیا ہے، تاکہ فوٹوریزسٹ کے عمل میں کوئی غلطی نہ ہو۔
AFM کے عمل کے لئے یہ کیوں مناسب ہے؟
AFM میں، درجہ حرارت کو تیزی سے استوار کرنا، اسے مستقل رکھنا، اور ہر بار عمل کے بعد اسے صاف کرنا ضروری ہے۔ یہ ہیٹر چند منٹوں میں درجہ حرارت کو استوار کر لیتا ہے، مستقل طور پر سافٹ بیک اور ہارڈ بیک کے عمل کو انجام دیتا ہے، اور ہر بار درجہ حرارت کو مستقل رکھتا ہے۔ اس سے دوبارہ کام کرنے کی ضرورت کم ہو جاتی ہے، اہم ابعاد پر بہتر کنٹرول حاصل ہوتا ہے، اور سائیکل کا وقت بھی متوقع ہو جاتا ہے۔ کارکردگی میں بہتری کیلئے ریڈیئنٹ کپلنگ اور حرارتی ماس کو بہتر بنایا گیا ہے، تاکہ غیرضروری حرارت پیدا نہ ہو۔
آپ کو پہلے کیا جاننا ضروری ہے؟
نصب کرتے وقت، AFM اسٹیج کے انٹرفیس کے ساتھ ہم آہنگی کو یقینی بنانا ضروری ہے، اور ارد گرد کے میکانزم کے حرارتی معیارات کے اندر رہنا ضروری ہے۔ وولٹیج اور کنیکٹر کی سازگاری کی تصدیق کریں، اور سینسر کو ایسی جگہ رکھیں کہ وہ پروب سے کسی قسم کی رکاوٹ نہ پیدا کرے۔ ویکیوم یا کنٹرولڈ ایٹموسفیئر سے حرارت کی منتقلی متاثر ہوتی ہے، لہذا اپنے چیمبر کی حالت کو بتائیں تاکہ کنٹرول پروفائل کو درست کیا جا سکے۔ اپنے خاص نمونے کے لئے PID گینز کو درست کرنے کیلئے مختصر وقت کی ضرورت ہوگی۔