فیکٹری میں، فوٹو ریزسٹ کو گرم کرنا صرف ایک اختیاری عمل نہیں ہے، بلکہ یہ بہت اہم عمل ہے۔ اگر گرم کرنے کا عمل درست طریقے سے نہ ہو، تو ویفر پر موجود اہم خصوصیات متاثر ہو جاتی ہیں۔ اگر گرم کرنے کا عمل درست نہ ہو، تو پروڈکشن کی کوالٹی متاثر ہو جاتی ہے۔ ہم نے اپنے سیرامک انفراریڈ ہیٹر پینلز کو اس لئے تیار کیا ہے تاکہ اس قسم کی غلطیوں کو کم کیا جا سکے، تاکہ 24/7 چلنے والے لیتھوگرافی سسٹموں کو مطلوبہ حرارتی کنٹرول مل سکے۔
تکنیکی اعتبار سے کیا اہم ہے؟
یہ پینلز، تیز رفتار اور مقامی حرارت پیدا کرنے کے لئے سیرامک انفراریڈ ایمیٹرز پر مبنی ہیں۔ ویفر کی سطح پر حرارت کی یکسانیت ±0.1°C کے اندر رہتی ہے، اور ہر بار یہی یکسانیت برقرار رہتی ہے۔ اس ڈیزائن کی وجہ سے کوئی ذرات پیدا نہیں ہوتے، لہذا کلین روم میں ذرات کی تعداد Class 1–100 کے اندر ہی رہتی ہے۔ بجلی کی فراہمی مستحکم ہے، اور حرارتی کنٹرول بھی بہترین ہے، لہذا فوٹو ریزسٹ کی خصوصیات ہر بار یکساں رہتی ہیں۔
پروڈکشن میں اس کی اہمیت کیوں ہے؟
پروڈکشن میں تیز رفتار حرارت کی ضرورت ہے، اور یہ حرارت مسلسل برقرار رہنی چاہیے، تاکہ پروسیس متاثر نہ ہو۔ ہمارے پینلز درست حرارتی پروفائل پیدا کرتے ہیں، درجہ حرارت میں اتار چڑھاؤ کو کم کرتے ہیں، اور کنٹرول کو برقرار رکھتے ہیں۔ اس کے نتیجے میں دوبارہ کام کرنے کی ضرورت کم ہو جاتی ہے، CD کنٹرول بہتر ہو جاتا ہے، اور پروڈکشن کی کوالٹی بہتر ہو جاتی ہے۔ توانائی کی کھپت بھی کم ہو جاتی ہے، کیونکہ ایمیٹرز حرارت کو صرف ضروری جگہ پر ہی پہنچاتے ہیں، نہ کہ چیمبر کی دیواروں پر۔
نصب کرنے کا طریقہ کیا ہے؟
نصب کرنے کے لئے، ہیٹر کے سائز اور ماؤنٹنگ سسٹم کو آپ کے آلات کے ساتھ مطابقت دینا ضروری ہے، اور بجلی کی فراہمی کو بھی مناسب طریقے سے سیٹ کرنا ضروری ہے۔ یہ پینلز صاف، خشک ہوا اور مستحکم وولٹیج میں بہترین کارکردگی دیتے ہیں؛ اگر وولٹیج مناسب سطح سے نیچے یا اوپر ہو، تو کارکردگی متاثر ہو جاتی ہے۔ حرارتی کنٹرول کو پہلے ہی منصوبہ بند کرنا ضروری ہے، تاکہ پینل آپ کے چیمبر کے ڈھانچے کے ساتھ ہی کام کر سکے۔