Wafer işlemlerinde elektrik güvenliği hakkında konuşalım
Waferleri işlerken iki şeye ihtiyacınız vardır: Mükemmel şekilde dağıtılan ısı ve tamamen sıfır seviyesinde elektrik sızıntısı. Bunu sağlamak için, tüm IR enerjisini gereken yere yönlendirmek amacıyla işleme lambalarını yüksek yansıtma özelliğine sahip kapsüllerle bir araya getiriyoruz.
Ancak burada bir sorun var: Bu sistemler yüksek voltajla çalışır. Bu da lambanın yansıtıcı ile temas ettiği noktanın genellikle sorunların ortaya çıktığı yer olduğu anlamına gelir.
Neden her bir üniteyi test ediyoruz?
Burada “grup bazlı örnek alma” yöntemi kullanmıyoruz. Bu yöntem, donanımları riske atmayı seven kişiler içindir. Bunun yerine, her bir lamba ve yansıtıcı ünitesi, fabrikamızdan çıkmadan önce kapsamlı bir gerilim dayanıklılık ve yalıtım direnci testinden geçirilir.
Neden mi? Çünkü yalıtımda küçük bir delik veya yansıtıcı üzerindeki bir toz parçası bile arka arkaya elektriksel bozulmalara neden olabilir. Temiz odalarda kısa devre sadece rahatsızlık verici bir durum değildir; güç kaynağını mahvedebilir veya bir parti waferin tamamını yok edebilir. Bu, kimse istemeyeceği bir durumdur.
Yalıtım konusundaki detaylar
Öncelikli odak noktamız, ısıtma elemanı ile topraklanmış şasi arasındaki boşluktur. Yalıtımın yeterince dayanıklı olup olmadığını anlamak için yüksek voltajlı stres testleri uygularız.
Amaç çok basit: Akımın sadece filament içinde kalmasını sağlamak. Eğer bir ünite megohm testinden geçemezse, o zaman o ünite kullanılamaz hale gelir. Onu düzeltmeye veya çalışır hale getirmeye çalışmayız; doğrudan atarız.
Bilmeniz gereken ticari avantajlar/ Dezavantajlar
Yüksek yansıtma özellikli kaplamalar termal verimlilik açısından mükemmeldir, ancak kullanımı zor olabilir. Doğru şekilde uygulanmazsa, topraklama hatlarını bozabilirler. Elbette daha yüksek ısı yoğunluğu elde edilir, ancak makinenizin topraklamasının statik yükleri karşılayabilecek kadar güçlü olduğundan emin olmak gerekir. Yansıtıcının geometrisini ve sıkı elektriksel izolasyonunu dengelemek için çok zaman harcarız.
Son bir tavsiye: Bu üniteleri cihaza bağlarken toleranslara dikkat edin. Eğer montaj çok sıkıysa, hava boşluğu ortadan kalkar. Uygun bir boşluk olmadan, yalıtım bozulduğunda arka arkaya elektriksel bozulmalar meydana gelebilir. Biraz boşluk bırakın; bu şekilde daha güvenli olur.