MEMS 센서 웨이퍼 건조 히터

파편을 막아내는 방법: MEMS 웨이퍼를 깨끗하게 유지하기 MEMS 제조 공장에서는 적외선 램프가 단순히 성가신 존재가 아닙니다. 그것은 진짜 악몽과 같습니다. 만약 석영관이 과도한 부하를 견디지 못한다면 어떻게 될까요? 그렇게 되면 램프가 폭발하여 웨이퍼 표면에 작...