공정 현장에서 열 예산은 제안이 아니라 계약이다 웨이퍼 전체에 걸쳐 0.5℃의 온도 변동만으로도 임계 치수가 이동하고, 도핑 프로파일이 어긋나며, 수시간의 리소그래피 작업이 무용지물이 된다. RTP에서는 이 계약이 할로겐 램프에서 운영된다. 핵심적으로 중요한 부분 우...

램프가 Mattson RTP 장비에서 고장 나면 단순한 가동 중단 이상의 문제입니다. 열 예산을 잃게 되고, 포토레지스트의 베이크 프로필이 변화하며, 갑자기 파티클 발생이 심해져 로트를 폐기할 위험에 직면하게 됩니다. 공정을 재검증해야 하는 임시 방편이 필요하지 않습...