파편의 위험을 막아라: 히터 고장으로부터 클린룸을 보호하기
고부하의 웨이퍼 생산을 하고 있다면, 그 끔찍한 상황을 잘 알 것입니다. 단 한 개의 램프만 고장 나도 전체 웨이퍼가 폐기되는 것입니다.
문제는 단순히 열이 멈추는 것뿐만이 아닙니다. 석영관이 고장나면 마치 유리 조각과 텅스텐 필라멘트로 가득한 ‘폭죽’이 되어버립니다. 이는 엄청난 혼란을 초래할 뿐만 아니라 비용도 많이 듭니다.
그래서 우리는 “최악의 상황”을 고려하여 적외선 히터를 설계합니다.
혼란을 통제하기
우리는 극도로 순수한 합성 석영을 사용합니다. 이는 급격한 온도 변화에도 깨지지 않습니다. 하지만 우리는 그저 유리에만 의존하지 않습니다.
램프를 특수한 석영 커버나 보호 장치로 감싸줍니다. 이는 일종의 안전망과 같습니다. 램프가 고장나더라도, 이 보호 장치가 파편들이 웨이퍼에 닿기 전에 그것들을 막아줍니다. 최고의 점은, 이러한 보호 장치가 단파 적외선 방사를 방해하지 않아서 여전히 빠른 가열 효과를 얻을 수 있다는 것입니다.
전기적 측면
전력 스파이크는 램프를 망가뜨리는 주범입니다. 이를 막기 위해 우리는 정밀한 전압 조절을 사용합니다. 또한 R7나 Sk15와 같은 내구성이 뛰어난 커넥터를 사용합니다. 왜냐하면 접점이 약하면 아크가 발생하거나 과열될 수 있기 때문입니다. 그렇게 되면 관의 끝부분에 고온 지점이 생기고, 그곳에서부터 균열이 시작됩니다.
균형을 찾는 것
고밀도 가열의 경우, 처리량을 높이기 위해 와트수를 최대로 높이고 싶은 유혹이 있습니다. 하지만 그렇게 하면 석영에 엄청난 부담이 가해집니다. 램프 주변의 공기 흐름이 충분하지 않으면 관의 수명이 줄어듭니다. 따라서 가속 속도와 재료의 한계 사이에서 적절한 균형을 찾아야 합니다.
우리는 이 장비들을 기존 클린룸 오븐의 간단한 교체용 제품으로 설계했습니다. 우리는 기계적인 적합성과 밀폐성에 많은 신경을 썼습니다. 그래야만 생산 라인이 계속해서 작동할 수 있습니다.
석영관이 결국 고장 나더라도, 그냥 교체해주기만 하면 됩니다. 그렇게 하면 클린룸을 완전히 청소할 필요 없이 계속 생산을 진행할 수 있습니다.