クラス100のクリーンルームを常に清潔な状態に保つために
クラス100のクリーンルームを運用している場合、ウェハを加熱する際に発生するわずかなほこりや気体の塊は、単なる迷惑どころではありません。それは大惨事につながります。一般的な加熱素子では、このような状況に対応できません。加熱に伴って素子が膨張・収縮し、その動きによって微粒子が放出されてしまいます。これは、製品の歩留まりを悪化させる要因となります。
私たちは、高純度の合成石英をIRランプに使用することで、この問題を解決しています。
なぜ石英が重要なのか
私たちは、不純物がほぼゼロの融成シリカを使用します。これにより、安価な素材で見られる厄介な「ほこりの発生」が防げます。
これらのランプは短波長のIR放射を利用します。ウェハ周辺の空気全体を温めるのではなく、エネルギーが直接ウェハの表面に届きます。これにより、通常発生する対流によるほこりの飛散が抑えられ、作業面にほこりが付着することがありません。また、石英は化学的に安定しており、チャンバ内の微量のガスと反応することもありません。そのため、ウェハは本来あるべき状態のまま保たれます。
設計上の詳細
薄膜形成や硬化処理を行う場合、精度が最も重要です。私たちは、ウェハ全体に均一な熱が行き渡るように、このランプを設計しています。必要に応じて、できるだけ多くのIR光を通過させるために透明な石英を使用したり、波長を調整するために特別なコーティングを施したりします。
また、酸化を防ぐために、金メッキされた電極や高ニッケル電極も使用しています。もしこのシール部分が壊れると、ハロゲンガスが漏れ出し、フィラメントがすぐに破損してしまいます。そのため、私たちは厳格な公差を設定しており、新しいランプを簡単に交換できるようにしています。
注意すべき点
これらの高強度ランプは大量の熱を発生させます。ウェハには必要なだけの熱が供給されますが、ランプの筐体には大きな負荷がかかります。したがって、冷却装置を適切に設計する必要があります。もし空気の流れが弱すぎると、熱によって取り付けブラケットが変形してしまいます。これを避けるために、専用の冷却水ジャケットや高速の強制送風装置を使用することを推奨します。熱くなってはいけない部品は、必ず冷やしておきましょう。それだけです。