Mempertahankan Kebersihan Ruang Bersih Kelas 100
Saat Anda mengoperasikan ruang bersih kelas 100, setiap serpihan debu kecil atau semburan gas yang terjadi selama proses pemanasan wafer bukanlah hal yang sepele—itu merupakan bencana bagi proses produksi Anda. Sebagian besar elemen pemanas biasa tidak mampu menangani hal ini. Elemen-elemen tersebut akan mengembang dan menyusut saat dipanaskan, dan pergerakan tersebut justru akan melepaskan partikel-partikel mikroskopis. Hal ini tentu saja merugikan kualitas produk yang dihasilkan.
Kami mengatasi masalah ini dengan menggunakan kuarsa sintetis berkualitas tinggi untuk lampu IR kami.
Mengapa kuarsa begitu penting?
Kami menggunakan kuarsa yang hampir bebas dari kotoran. Hal ini dapat mencegah efek “debu” yang sering terjadi pada lampu berkualitas rendah.
Lampu-lampu ini menggunakan radiasi IR berpanjang gelombang pendek. Energi panasnya langsung menuju permukaan wafer, sehingga tidak ada aliran udara yang menciptakan debu di sekitar wafer. Selain itu, kuarsa bersifat kimia inert, sehingga tidak akan bereaksi dengan gas-gas yang ada di dalam ruang bersih tersebut. Dengan demikian, wafer tetap dalam kondisi yang ideal.
Detil desain lampu
Jika Anda melakukan proses deposisi lapisan tipis atau proses pengeringan, maka presisi sangatlah penting. Kami merancang lampu-lampu ini sedemikian rupa agar panasnya dapat tersebar secara merata di seluruh permukaan wafer. Tergantung pada kebutuhan Anda, Anda bisa memilih kuarsa transparan agar lebih banyak cahaya IR yang dapat melewati lampu, atau kami juga bisa menambahkan lapisan khusus untuk mengatur panjang gelombang cahaya IR tersebut.
Kami juga menggunakan elektroda yang dilapisi emas atau nikel berkualitas tinggi untuk mencegah oksidasi pada bagian sambungan lampu. Jika sambungan tersebut rusak, gas halogen akan bocor keluar, dan filamen lampu akan cepat rusak. Kami memastikan toleransi pada komponen-komponen tersebut sangat ketat, sehingga Anda dapat mengganti lampu tanpa perlu menghabiskan waktu untuk menyetel ulang perangkat tersebut.
Beberapa hal yang perlu diperhatikan
Lampu-lampu berintensitas tinggi ini menghasilkan panas yang sangat besar. Meskipun wafer mendapatkan panas yang tepat, casing lampu akan rusak akibat panas tersebut. Anda perlu memastikan sistem pendinginan berfungsi dengan baik. Jika aliran udara terlalu lemah, panasnya akan merusak braket penyangga lampu. Untuk menghindari hal ini, kami menyarankan penggunaan sistem pendingin berupa air dingin atau aliran udara berkecepatan tinggi. Pastikan bagian-bagian yang seharusnya tidak panas tetap dingin. Itu saja.