श्रैपनेल को रोकना: अपने MEMS वेफरों को साफ रखना
MEMS उत्पादन सुविधाओं में, आयरन-रेड लैंपों का विस्फोट केवल एक परेशानी ही नहीं, बल्कि एक भयावह स्थिति है।
कल्पना कीजिए कि क्वार्ट्ज ट्यूब भारी भार के कारण टूट जाती है… ऐसी स्थिति में वह न केवल काम करना बंद कर देती है, बल्कि विस्फोट होकर छोटे-छोटे काँच के टुकड़े एवं धातु के टुकड़े वेफर की सतह पर गिर जाते हैं… इससे वेफर खराब हो जाता है। हम अपने IR हीटरों को ऐसे ही डिज़ाइन करते हैं, ताकि ऐसी स्थिति कभी न हो।
ट्यूबें क्यों फट जाती हैं?
आमतौर पर, ऐसा थर्मल स्ट्रेस या सीलिंग भाग में विद्युत आर्किंग के कारण होता है… जब उत्पादन की दर बहुत अधिक होती है, तो ऐसी ट्यूबें टूट जाती हैं।
इससे बचने हेतु, हम उच्च-शुद्धता वाले कृत्रिम क्वार्ट्ज का उपयोग करते हैं… इसका थर्मल विस्तार गुणांक बहुत कम होता है… इसका मतलब है कि यह तेज़ गर्मी/ठंड के प्रभावों को सह सकता है… यह ऐसी स्थितियों को सहन करने हेतु ही बनाया गया है।
गंदगी को नियंत्रित रखना
यदि कोई लैंप टूट जाता है, तो हम नहीं चाहते कि उसके टुकड़े वेफरों पर गिरें… इसलिए हम द्विस्तरीय सुरक्षा व्यवस्था का उपयोग करते हैं… हम हीटिंग तत्व एवं वेफर के बीच एक विशेष क्वार्ट्ज स्लीव/सुरक्षा कवच लगाते हैं… ऐसा करने से लैंप टूटने पर उसके टुकड़े स्लीव में ही रह जाते हैं… इससे वेफर साफ रहता है।
इसके अलावा, हम कनेक्टरों पर भी ध्यान देते हैं… यदि कनेक्टर ठीक से लगे न हों, तो गर्मी के कारण क्वार्ट्ज खराब हो जाता है… हम प्रीसिज़न-फिट माउंटों का उपयोग करते हैं, ताकि विद्युत भार समान रूप से वितरित हो… इससे कोई गर्म बिंदु नहीं बनता, कोई कमजोर बिंदु नहीं रहता।
संतुलन बनाए रखना
वास्तव में, उच्च-घनत्व वाली IR ऊष्मा ही वेफरों को जल्दी सुखाने का एकमात्र तरीका है… लेकिन आप ऊर्जा को लगातार बढ़ा नहीं सकते…
जितनी अधिक ऊर्जा प्रति वर्ग सेंटीमीटर में दी जाती है, उतना ही अधिक दबाव क्वार्ट्ज पर पड़ता है… यह एक संतुलन की समस्या है… लैंपों को जल्दी खराब होने से बचाने हेतु, शीतलन हवा की गति लैंप के आउटपुट के अनुरूप होनी आवश्यक है… यदि लैंप का आवरण बहुत गर्म हो जाए, तो लैंप की आयु कम हो जाती है।
हम ऐसे उपकरणों को 24/7 उपयोग हेतु ही बनाते हैं… लक्ष्य बहुत ही सरल है – ऊष्मा को नियंत्रित रखना, एवं गंदगी को शून्य पर रखना।