در خطوط تولید ۷×۲۴ ساعته، لامپها فقط در صورت خرابی متوقف نمیشوند؛ بلکه پیوستگی حرارتی نیز مختل میشود و پروفایلهای فوتورزیست نیز دچار تغییر میشوند. در چنین شرایطی، لازم است کارهای تعمیراتی انجام شود. سپر گلاس کوارتزی، نقش مهمی در حفظ یکنواختی دما و انرژی مورد نیاز برای عملیات فوتولیتوگرافی ایفا میکند.
آنچه واقعاً اهمیت دارد
ما از کوارتز با خلوص بالا برای ساخت این سپر استفاده میکنیم؛ تا انتقال نور در طول طیف طول موجی لامپ، حتی پس از چرخههای مکرر حرارتی، به خوبی حفظ شود. این سپر، یکنواختی حرارتی را در محدوده ±۰٫۱ درجه سانتیگراد حفظ میکند؛ بنابراین دمای لازم برای عملیات فوتولیتوگرافی نیز در محدوده مشخص شده باقی میماند. این ماده در محیطهای تمیزسازی کلاس ۱ تا ۱۰۰ نیز عملکرد خوبی دارد؛ همچنین طراحی این سپر، تولید ذرات را در شرایط عادی به صفر میرساند.
چرا این موضوع در فرآیندهای فوتولیتوگرافی اهمیت دارد
در فرآیندهای فوتولیتوگرافی، نیاز به گرمای یکنواخت، انرژی مناسب و محیط تمیز در هر چرخه وجود دارد. سپر یکنواخت، از آلوده شدن لامپ و سیستمهای مربوطه جلوگیری میکند؛ همچنین از بروز نقصهای ناشی از تغییرات دما جلوگیری میکند. در نتیجه، مقدار مواد باکیفیت کمتری مصرف میشود، کنترل کیفیت بهتر میشود و زمانهای تعمیرات نیز قابل پیشبینی خواهد بود. توان مورد نیاز نیز ثابت باقی میماند؛ زیرا سیستم در هر بار باز شدن درب، دچار تغییرات دما نمیشود.
جزئیاتی که اگر نادیده گرفته شوند، مشکلات زیادی ایجاد میکنند
محدودیتهای نصب بسیار دقیق هستند؛ بنابراین باید سپر را در فاصله مشخص شده توسط دستگاه قرار داد؛ در غیر این صورت، نقاط گرم ایجاد شده و خطر ترک خوردن ساختار دستگاه وجود خواهد داشت. این سپر با لامپهای استاندارد سازگار است؛ اما باید ابعاد نصب و مواد مورد استفاده برای جوشکاری را با مشخصات لامپ و محفظه مربوطه بررسی کرد. باید این سپر را مانند یک قطعه با عمر مشخص در نظر گرفت؛ یعنی باید در زمان مشخص شده تعویض شود، نه در صورت خرابی؛ تا تعداد ذرات و تغییرات حرارتی در محدوده مشخص شده باقی بماند.