Auf dem Fertigungsboden ist das thermische Budget keine Empfehlung – es ist der Vertrag. Eine halbe Grad Schwankung über das Wafer hinweg genügt, um...

Wenn eine Lampe an Ihrem Mattson RTP-Werkzeug ausfällt, bedeutet das mehr als nur Stillstand. Sie verlieren das thermische Budget, das Backprofil auf...