Heizgerät zum Trocknen von MEMS Sensorwafern
Die Schrapnellschäden vermeiden: Die MEMS-Wafer sauber halten
In einer MEMS-Fabrik ist das Versagen einer Infrarotlampe mehr als nur eine Belastung –...
Präziser IR Sensor für Wafer
Wie man einen Reinraum der Klasse 100 wirklich sauber hält
Wenn man einen Reinraum der Klasse 100 betreibt, ist selbst ein winziger Staubkorn oder...
Intelligente Sensorverpackung für Infrarotstrahlen
Wie man einen Reinraum der Klasse 100 wirklich sauber hält
Wenn man intelligente Sensoren verpackt, reicht es nicht aus, wenn der Raum nur „fast“...
Temperatursensor für Wafer Werkzeuge
Direktionales Infrarotheizen: Wie wir die Werkzeuge bei der Halbleiterfertigung warm halten – ohne dass die Bediener Schaden nehmen
Das Problem bei...