الحفاظ على نظافة غرفة العمل من الدرجة 100
عند تشغيل غرفة عمل من الدرجة 100، فإن وجود حبة غبار صغيرة أو كمية بسيطة من الغاز أثناء تسخين الرقاقات ليس مجرد مشكلة صغيرة، بل إنه كارثة حقيقية. معظم عناصر التسخين العادية لا تستطيع التعامل مع هذا الوضع؛ فهي تتمدد وتنكمش أثناء التسخين، وهذا الحركة المستمرة تؤدي إلى تطاير جزيئات صغيرة في الهواء. هذا أمر سيء للغاية بالنسبة لجودة الرقاقات.
نحن نتعامل مع هذه المشكلة باستخدام الكوارتز الاصطناعي عالي النقاء في مصابيح الأشعة تحت الحمراء الخاصة بنا.
لماذا الكوارتز مهم؟
نستخدم السيليكا المنصهرة التي لا تحتوي على أي شوائب تقريبًا. هذا يمنع حدوث ذلك التأثير المزعج المتمثل في تراكم الغبار، كما هو الحال مع المواد الرخيصة.
تستخدم هذه المصابيح أشعة تحت حمراء ذات موجات قصيرة. بدلاً من تسخين الهواء المحيط بالرقاقة، تصل الطاقة مباشرة إلى سطح الرقاقة. هذا أمر رائع، لأنه يقلل من تيارات الهواء التي تؤدي إلى تطاير الغبار في الهواء. بالإضافة إلى ذلك، فإن الكوارتز مادة غير قابلة للتفاعل كيميائيًا، لذا فإنه لا يتفاعل مع الغازات الموجودة في الغرفة، وبالتالي تظل الرقاقة في حالتها الصحيحة.
تفاصيل التصميم
إذا كنت تقوم بعمليات ترسيب الطبقات الرقيقة أو تصليبها، فأنت تعلم أن الدقة مهمة للغاية. نحن نصمم هذه المصابيح بحيث يكون التسخين موحدًا في جميع أجزاء الرقاقة. حسب احتياجاتك، يمكنك استخدام كوارتز شفاف للسماح بمرور أكبر قدر ممكن من الأشعة تحت الحمراء، أو يمكننا إضافة طبقات خاصة لضبط الطول الموجي.
كما نستخدم أقطابًا مغطاة بالذهب أو نيكل عالي الجودة لمنع الأكسدة في نقاط الختم. المشكلة هي أنه إذا فشلت نقاط الختم، فإن الغازات الهالوجينية ستتسرب، وبالتالي سيتلف الفيلامنت بسرعة. نحن نحافظ على دقة التصميم لكي يمكنك استبدال المصباح بسهولة دون الحاجة إلى إعادة ضبط الجهاز بأكمله.
بعض الأشياء التي يجب الانتباه إليها
هذه المصابيح ذات الشدة العالية تصدر كمية كبيرة من الحرارة. بينما تحصل الرقاقة على الحرارة المطلوبة، فإن هيكل المصباح سيتأثر بشكل سلبي. يجب أن يكون نظام التبريد فعالًا؛ فإذا كان تدفق الهواء ضعيفًا، فإن الحرارة ستؤدي إلى تشوه الأجزاء الموجودة في المصباح. لتجنب ذلك، ننصح باستخدام نظام تبريد بالماء المبرد أو هواء مضغوط عالي السرعة. يجب الحفاظ على الأجزاء التي لا يجب أن تكون ساخنة باردة. ببساطة.