يمكن مراقبة الرقاقة أثناء عملية الشطف النهائي، وبذلك يمكن معرفة مدى سرعة تجفيف الرقاقة. إذا كانت درجة الحرارة غير كافية أو غير مستقرة، فسوف نرى ظهور بقع مائية على سطح الرقاقة، بالإضافة إلى مشاكل أخرى في جودة الرقاقة. لذلك، قمنا بتطوير أجهزة تسخين بالأشعة تحت الحمراء لمنع حدوث هذه المشاكل منذ البداية.
ما هو المهم في هذا النظام؟ نستخدم أجهزة إصدار أشعة تحت حمراء قصيرة الموجة في جهاز من الكوارتز المدمج. هذا النظام يوفر نقلًا مباشرًا للطاقة مع كتلة حرارية منخفضة، مما يسمح بالتحكم الدقيق في درجة الحرارة. تحت تأثير تيار الهواء أثناء عملية التجفيف، نحافظ على استقرار درجة الحرارة على مستوى الرقاقة عند ±0.1 درجة مئوية في منطقة التجفيف.
يتم التحكم في درجة الحرارة باستخدام مستشعرات معتمدة، وليس من خلال جدران الغرفة. بهذه الطريقة، يظل التحكم مستقرًا من دفعة إلى أخرى. أجهزة التسخين هذه مناسبة للاستخدام في الغرف النظيفة، وتصنيفها يتراوح بين الفئة 1 إلى 100، وتم اختيار أسطحها بحيث تقلل من تكوّن الجسيمات والغازات. تظل القدرة الإخراجية مستقرة لمدة 5,000 ساعة أو أكثر، مع انخفاض في شدة الحرارة بنسبة أقل من 5%.
لماذا يعمل هذا النظام في عمليات الطباعة الضوئية؟ في عمليات الطباعة الضوئية، يكون التحكم في درجة الحرارة أمرًا مهمًا للغاية. يجب أن تكون درجة الحرارة مستقرة للحفاظ على جودة الرقاقة. أجهزة التسخين بالأشعة تحت الحمراء تساعد في تجفيف الرقاقات بسرعة دون أن تؤدي إلى مشاكل، مما يحافظ على جودة الرقاقة ويسمح بالتحكم الدقيق في عرض الخطوط.
يمكن الحصول على سرعة عالية دون التضحية بالتوحيد في درجة الحرارة، كما أن استهلاك الطاقة يقل لأن الحرارة تذهب إلى المكان المطلوب فقط. يؤدي ذلك إلى استقرار في عدد العيوب، وأداء مستقر في عملية التجفيف، بالإضافة إلى تقليل عدد عمليات إعادة العمل.
بعض التفاصيل المتعلقة بالتركيب: يجب أن تتوافق معايير التركيب مع المواصفات المطلوبة، كما يجب التأكد من توجيه تيار الهواء بشكل صحيح. للحفاظ على استقرار درجة الحرارة عند ±0.1 درجة مئوية، يجب أن يكون تدفق الهواء مستقرًا، ويجب منع الرياح العكسية من الوصول إلى منطقة التجفيف. تتوافق أجهزة التسخين مع الأدوات القياسية المستخدمة في صناعة أشباه الموصلات، لكن لا يزال من الضروري التحقق من المسافات بين الأجهزة ومكان وضع المستشعرات.
يمكن الاعتماد على أجهزة التسخين لفترة طويلة، لكن يجب الحفاظ على جودة مستشعرات درجة الحرارة من خلال إجراء عمليات معايرة دورية. هذا ما يضمن استقرار درجة الحرارة على المدى الطويل.